| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·微流控芯片概述 | 第8-10页 |
| ·具有细胞计数功能的微流控芯片 | 第10-12页 |
| ·光微流控芯片关键工艺技术 | 第12-16页 |
| ·本论文的目的、意义及研究内容 | 第16-17页 |
| 2 具有细胞计数功能的光微流控芯片设计 | 第17-25页 |
| ·细胞计数原理 | 第17页 |
| ·微管道结构设计与仿真 | 第17-20页 |
| ·光路设计 | 第20-23页 |
| ·掩膜设计 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 光微流控芯片关键工艺实验研究 | 第25-48页 |
| ·开放式微管道的制作 | 第25-34页 |
| ·波导与光纤对接 | 第34-40页 |
| ·粘接键合 | 第40-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 4 芯片制作 | 第48-52页 |
| ·材料选择 | 第48页 |
| ·工艺流程 | 第48-50页 |
| ·制作结果 | 第50-52页 |
| 5 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |