| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-34页 |
| ·MEMS 微电感器件的研究现状 | 第9-15页 |
| ·平面螺旋电感器件 | 第9-11页 |
| ·磁芯螺线管型电感器件 | 第11-12页 |
| ·曲折结构电感器件 | 第12-13页 |
| ·条状夹心结构电感器件 | 第13-14页 |
| ·其它优化结构的电感器件 | 第14-15页 |
| ·磁性薄膜材料的类型和性能 | 第15-17页 |
| ·坡莫合金 | 第16页 |
| ·铁氧体 | 第16页 |
| ·非晶、纳米晶软磁材料 | 第16-17页 |
| ·各种微电感器件的应用现状 | 第17页 |
| ·微电感建模与仿真的研究进展 | 第17-29页 |
| ·电感计算方法 | 第17-21页 |
| ·各种损耗机制及优化方法 | 第21-22页 |
| ·各种等效电路模型 | 第22-29页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第29-30页 |
| ·本课题研究的意义 | 第29页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-34页 |
| 第2章 磁芯螺线管微电感的ANSYS 有限元模拟研究 | 第34-51页 |
| ·ANSYS 电场磁场分析概述 | 第34-39页 |
| ·常规的各种线圈分析模型 | 第35-36页 |
| ·ANSYS 各种类型的电磁分析网格单元 | 第36-39页 |
| ·ANSYS 参数化设计语言APDL | 第39页 |
| ·螺线管微电感的ANSYS 三维谐振磁场有限元模型 | 第39-49页 |
| ·模型结构及网格选择 | 第39-42页 |
| ·磁场分布模拟图 | 第42-46页 |
| ·网格尺寸控制 | 第46-48页 |
| ·模拟计算结果 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第3章 磁芯螺线管微电感的数值模拟研究 | 第51-77页 |
| ·微电感集总参数等效电路以及电感量和品质因数计算 | 第51-52页 |
| ·螺线管电感线圈电阻的计算 | 第52页 |
| ·螺线管电感和磁芯等效电阻的计算 | 第52-55页 |
| ·磁芯等效电阻和等效电感的数值模拟与ANSYS 模拟对比分析 | 第55-57页 |
| ·螺线管微电感结构中寄生电容的计算 | 第57-58页 |
| ·数值模拟结果分析 | 第58-75页 |
| ·磁芯的影响 | 第58-64页 |
| ·线圈的影响 | 第64-72页 |
| ·绝缘材料的影响 | 第72-75页 |
| ·衬底的影响 | 第75页 |
| ·分析结论 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 第4章 磁芯螺线管微电感的制作工艺 | 第77-90页 |
| ·基本工艺过程 | 第77-83页 |
| ·光刻工艺 | 第77-81页 |
| ·微电镀工艺 | 第81页 |
| ·溅射淀积 | 第81页 |
| ·刻蚀工艺 | 第81-82页 |
| ·聚酰亚胺固化及抛光工艺 | 第82-83页 |
| ·工艺检测 | 第83页 |
| ·磁芯螺线管微电感的制备工艺 | 第83-89页 |
| ·本章小结 | 第89页 |
| 参考文献 | 第89-90页 |
| 第5章 磁芯螺线管微电感的测试与分析 | 第90-100页 |
| ·螺线管微电感的测试原理 | 第90-91页 |
| ·磁芯螺线管微电感的性能测试 | 第91-95页 |
| ·实验结果与模拟结果的拟合 | 第95-98页 |
| ·结果分析 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第6章 总结与展望 | 第100-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第102-104页 |
