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碲锌镉晶体的缺陷及其退火研究

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
目录第6-9页
第一章 前言第9-19页
   ·半导体材料的发展第9-11页
   ·半导体核辐射探测器的发展第11-15页
     ·探测器的种类第11-12页
     ·室温半导体核辐射探测器第12-14页
     ·CdZnTe晶体及探测器概述第14-15页
   ·小结第15-16页
   ·本文的选题思路和主要研究内容第16-18页
     ·选题思路第16-17页
     ·主要研究内容第17-18页
 参考文献第18-19页
第二章 碲锌镉晶体的缺陷研究第19-26页
   ·CZT单晶体的主要缺陷第19-23页
     ·点缺陷第19-20页
     ·线缺陷第20-21页
     ·面缺陷第21-22页
     ·体缺陷第22-23页
   ·缺陷形貌观察第23-24页
   ·小结第24-25页
 参考文献第25-26页
第三章 退火前碲锌镉晶体的表征第26-35页
   ·碲锌镉晶体的切割加工第26-28页
     ·晶片切割方向选择第26页
     ·晶片切割第26-27页
     ·晶片研磨第27页
     ·晶片抛光第27-28页
   ·晶片的光学性能测试第28-31页
     ·红外透过率测试第28-29页
     ·晶片的紫外—可见光吸收谱测试第29-31页
   ·晶片的电学性能测试第31-32页
     ·电阻率测定第31页
     ·I—V特性测试第31-32页
   ·晶片的蚀坑观察第32-33页
   ·小结第33-34页
 参考文献第34-35页
第四章 碲锌镉晶体的退火研究第35-52页
   ·晶体退火机制第35-36页
     ·固相扩散机制第35页
     ·热迁移机制第35-36页
   ·退火实验过程第36-39页
     ·实验样品第36页
     ·退火工艺条件和参数的参数第36-37页
     ·退火实验第37-38页
     ·实验结果第38-39页
   ·晶片退火前后的正电子湮没寿命谱测试第39-44页
   ·晶片退火后晶体的光学性能测试第44-46页
   ·晶片退火前后晶体的电学性能测试第46-49页
     ·退火后晶片的电阻测定第46-47页
     ·退火后晶片的I—V特性第47-49页
   ·小结第49-51页
 参考文献第51-52页
第五章 碲锌镉探测器的制作第52-60页
   ·探测器原理第52页
   ·能量分辨率第52-54页
     ·电荷数统计涨落噪声第53页
     ·电荷收集噪声第53-54页
     ·电子学系统噪声第54页
   ·CdZnTe探测器的制备工艺第54-57页
     ·材料选取第54-55页
     ·晶片加工第55页
     ·表面钝化第55-56页
     ·溅射电极第56页
     ·探测器封装第56-57页
   ·能谱响应测试第57-58页
   ·小结第58-59页
 参考文献第59-60页
第六章 结论和工作建议第60-62页
   ·结论第60-61页
   ·工作建议第61-62页
作者在读期间发表的论文和参加的科研工作第62-63页
致谢第63-64页

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