一种反射式微型光开关的相关技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| ·课题的背景及意义 | 第10-11页 |
| ·光开关的发展及国内外研究现状 | 第11-22页 |
| ·光开关的分类 | 第11-15页 |
| ·光开关的应用 | 第15-16页 |
| ·MEMS 技术 | 第16-18页 |
| ·国内外研究现状 | 第18-22页 |
| ·课题的来源及主要完成的工作 | 第22-23页 |
| 2 闪耀光栅原理 | 第23-29页 |
| ·概述 | 第23页 |
| ·闪耀光栅工作原理 | 第23-25页 |
| ·闪耀光栅光强分布 | 第23-24页 |
| ·闪耀光栅光谱的缺级 | 第24-25页 |
| ·闪耀光栅光强分布图 | 第25页 |
| ·闪耀光栅与微平面镜的比较 | 第25-27页 |
| ·微平面反射镜光强分布图 | 第25-26页 |
| ·衍射效率 | 第26-27页 |
| ·微型闪耀光栅与微反射镜比较研究 | 第27页 |
| ·闪耀光栅的应用 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 总体方案设计 | 第29-43页 |
| ·概述 | 第29页 |
| ·光开关参数 | 第29-32页 |
| ·光开关评价参数 | 第29-32页 |
| ·光开关设计参数 | 第32页 |
| ·准直器设计 | 第32-39页 |
| ·光束准直方法 | 第32-33页 |
| ·V 型槽 | 第33-37页 |
| ·球透镜及方坑 | 第37-39页 |
| ·微镜设计 | 第39-42页 |
| ·微镜参数 | 第39-40页 |
| ·微镜参数优化 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 光波传播特性研究 | 第43-49页 |
| ·概述 | 第43页 |
| ·高斯光束及ABCD 矩阵 | 第43-46页 |
| ·高斯光束模型 | 第43-44页 |
| ·高斯光束的ABCD 矩阵 | 第44-46页 |
| ·光开关中的光波传播特性 | 第46-48页 |
| ·入射光纤与准直器间的光波特性 | 第46页 |
| ·准直器与准直器间的光波特性 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 光开关损耗分析 | 第49-55页 |
| ·概述 | 第49页 |
| ·耦合损耗分析 | 第49-52页 |
| ·横向耦合损耗 | 第50-51页 |
| ·纵向耦合损耗 | 第51页 |
| ·倾斜耦合损耗 | 第51-52页 |
| ·回波因素 | 第52-53页 |
| ·元器件加工不完善引起的损耗 | 第53页 |
| ·光波的衍射损耗 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 光开关加工工艺 | 第55-62页 |
| ·二元光学介绍 | 第55-56页 |
| ·二元光学 | 第55页 |
| ·二元光学的应用 | 第55-56页 |
| ·闪耀光栅的二元光学分析 | 第56-58页 |
| ·二元光学器件制作工艺 | 第58-59页 |
| ·光开关加工过程 | 第59-61页 |
| ·概述 | 第59-60页 |
| ·掩模版制作 | 第60-61页 |
| ·图形转印 | 第61页 |
| ·刻蚀 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 7 实验结果分析 | 第62-66页 |
| ·实验器材及系统设置 | 第62-64页 |
| ·实验器材 | 第62-63页 |
| ·系统设置 | 第63页 |
| ·实验计算方案选择 | 第63-64页 |
| ·系统优化 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 8 研究工作总结 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-74页 |
