| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题目的及意义 | 第8-10页 |
| ·小型光学元件面型测量方法 | 第10-18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 面型测量及评定 | 第19-25页 |
| ·接触式面型测量基本原理 | 第19-20页 |
| ·面型评定和误差分析 | 第20-23页 |
| ·非球面理论 | 第23-24页 |
| ·超精密测量系统介绍 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 超精密测量误差分离技术研究 | 第25-40页 |
| ·误差分离讨论 | 第25-31页 |
| ·误差分离算法研究 | 第31-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 分离算法实现及仿真 | 第40-49页 |
| ·算法实现 | 第40-43页 |
| ·仿真数据验证 | 第43-47页 |
| ·数学模型误差分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 应用实例 | 第49-56页 |
| ·测量系统标定 | 第49-50页 |
| ·标准球测量 | 第50-53页 |
| ·非球面测量 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录1 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第63页 |