| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·国内外聚合物电光调制器的发展动态 | 第11-13页 |
| ·聚合物电光调制器的发展现状 | 第11-12页 |
| ·聚合物电光调制器的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 有机聚合物电光调制器的工艺研究 | 第15-29页 |
| ·聚合物波导电光调制器简介 | 第15-19页 |
| ·波导结构 | 第15-17页 |
| ·聚合物波导M-Z干涉仪结构 | 第17-19页 |
| ·聚合物波导的制作工艺 | 第19-29页 |
| ·衬底的清洗 | 第21-22页 |
| ·下电极的制备 | 第22-23页 |
| ·下包层的制备 | 第23页 |
| ·芯层材料的旋涂 | 第23-24页 |
| ·聚合物薄膜的极化 | 第24-26页 |
| ·光刻 | 第26页 |
| ·反应离子刻蚀 | 第26-29页 |
| 第三章 聚合物电光调制器的光波导结构设计和数值模拟 | 第29-48页 |
| ·电磁场基本理论 | 第29-33页 |
| ·矢量波动方程 | 第29-30页 |
| ·平板光波导的解析解 | 第30-32页 |
| ·有效折射率法 | 第32-33页 |
| ·二维数值模拟 | 第33-40页 |
| ·泰勒级数展开法 | 第33-37页 |
| ·二维宽角度方法 | 第37-40页 |
| ·三维数值模拟 | 第40-42页 |
| ·模拟结果 | 第42-48页 |
| ·二维模拟结果 | 第42-47页 |
| ·三维模拟结果 | 第47-48页 |
| 第四章 聚合物光波导参数的测量 | 第48-61页 |
| ·电光系数的测量 | 第48-54页 |
| ·简单反射法测量原理 | 第48-52页 |
| ·系统的搭建与测试 | 第52-53页 |
| ·结果分析 | 第53-54页 |
| ·折射率及厚度的测量 | 第54-57页 |
| ·棱镜耦合法测量原理 | 第54-56页 |
| ·测量结果分析 | 第56-57页 |
| ·聚合物波导传输损耗的测量 | 第57-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 | 第67-79页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第79页 |