| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·显微技术的现状与发展 | 第7-11页 |
| ·显微镜的发展史 | 第7-8页 |
| ·扫描探针显微镜的发展史 | 第8-10页 |
| ·我国的扫描探针显微镜的发展史 | 第10-11页 |
| ·原子力显微镜的主要应用领域 | 第11-14页 |
| ·在表面微观结构分析领域中的应用 | 第11-12页 |
| ·在微机械加工领域中的应用 | 第12-13页 |
| ·在力测量领域中的应用 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要工作 | 第14-15页 |
| 2 基本原理 | 第15-22页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·工作原理 | 第15-16页 |
| ·与原子力显微镜相关的力 | 第16-18页 |
| ·范德瓦尔斯力 | 第17页 |
| ·磁力和静电力 | 第17页 |
| ·摩擦力 | 第17页 |
| ·毛细管力 | 第17-18页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第18-20页 |
| ·接触模式(Contact Mode) | 第18-19页 |
| ·非接触成像模式( Non-contact Mode ) | 第19-20页 |
| ·轻敲模式 | 第20页 |
| ·原子力显微镜的操作模式 | 第20-22页 |
| ·恒力模式 | 第20页 |
| ·恒高模式 | 第20-21页 |
| ·恒梯度模式 | 第21页 |
| ·谱学模式 | 第21-22页 |
| 3 AFM.IPC-208B 型机整机系统 | 第22-36页 |
| ·整机系统构造和主要技术指标 | 第22-23页 |
| ·整机系统构造 | 第22页 |
| ·整机技术指标 | 第22-23页 |
| ·镜体 | 第23-28页 |
| ·镜体设计的技术要求 | 第23-24页 |
| ·镜体结构设计 | 第24-26页 |
| ·配合镜体工作的进给系统 | 第26-27页 |
| ·振动隔绝系统 | 第27-28页 |
| ·扫描与数据采集系统 | 第28-34页 |
| ·扫描系统 | 第29-31页 |
| ·数据采集系统 | 第31-34页 |
| ·计算机工作站 | 第34页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机的特点 | 第34-35页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机的工作环境要求 | 第35-36页 |
| 4 原子力显微镜的探针 | 第36-47页 |
| ·探针的力学模型 | 第36-39页 |
| ·微悬臂系统 | 第39-41页 |
| ·微悬臂的设计原则 | 第39页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机微悬臂形变的检测 | 第39-40页 |
| ·自制微悬臂的结构和特点 | 第40-41页 |
| ·探针结构对图象的影响 | 第41-42页 |
| ·探针的制备工艺 | 第42-44页 |
| ·探针制备的精度验证 | 第44-47页 |
| 5 AFM 在纳米材料学方面的应用研究 | 第47-60页 |
| ·AFM 在纳米材料研究上的优势 | 第47-48页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机对TIO_2 的研究 | 第48-52页 |
| ·TiO_2 样品的制备 | 第49页 |
| ·TiO_2 的AFM 实验及分析 | 第49-52页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机对WO_3 的研究 | 第52-60页 |
| ·WO_3 样品的制备 | 第53页 |
| ·WO_3 的AFM 实验及分析 | 第53-60页 |
| 6 结论和展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66页 |
