摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-8页 |
符号说明 | 第8-10页 |
目录 | 第10-12页 |
CONTENTS | 第12-14页 |
第一章 绪论 | 第14-29页 |
·研究背景及意义 | 第14-15页 |
·国内外相关研究现状 | 第15-28页 |
·激光抛光机理的研究 | 第15-19页 |
·激光抛光材料去除机理的主要影响因素及其影响规律研究 | 第19-28页 |
·课题来源及主要研究内容 | 第28-29页 |
·课题来源 | 第28页 |
·主要研究内容 | 第28-29页 |
第二章 短波长激光抛光蓝宝石晶体机理的理论研究 | 第29-39页 |
·激光与蓝宝石晶体的热作用 | 第29-36页 |
·激光抛光蓝宝石晶体材料的熔化、蒸发去除 | 第32-35页 |
·激光抛光蓝宝石的温度场有限元计算 | 第35-36页 |
·激光与蓝宝石晶体的光化学作用 | 第36-38页 |
·本章小结 | 第38-39页 |
第三章 实验材料与实验装置 | 第39-50页 |
·蓝宝石晶体的物理、化学特性 | 第39-41页 |
·蓝宝石晶体的结构成分及特征 | 第39页 |
·蓝宝石晶体主要的物理性能及其影响因素 | 第39-41页 |
·实验设备装置 | 第41-45页 |
·激光器 | 第41-43页 |
·移动工作台 | 第43-45页 |
·测量仪器、设备 | 第45页 |
·实验研究方法 | 第45-49页 |
·激光打孔试验 | 第46页 |
·激光抛光试验 | 第46-49页 |
·本章小结 | 第49-50页 |
第四章 短波长激光抛光蓝宝石机理的实验研究 | 第50-64页 |
·激光打孔的表面形貌 | 第50-52页 |
·绿光激光打孔表面形貌 | 第50-51页 |
·紫外光激光打孔表面形貌 | 第51-52页 |
·绿光激光抛光蓝宝石晶体机理的实验研究 | 第52-58页 |
·绿光激光抛光表面形貌特征 | 第52-54页 |
·加工条件对绿光激光抛光蓝宝石晶体机理的影响 | 第54-58页 |
·紫外光激光抛光蓝宝石晶体机理的实验研究 | 第58-62页 |
·紫外光激光抛光表面形貌特征 | 第58-60页 |
·加工条件对紫外光激光抛光蓝宝石晶体机理的影响 | 第60-62页 |
·本章小结 | 第62-64页 |
结论与展望 | 第64-65页 |
参考文献 | 第65-68页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-70页 |
致谢 | 第70-71页 |
附录I XY移动工作台运动控制程序清单 | 第71-76页 |