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短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
符号说明第8-10页
目录第10-12页
CONTENTS第12-14页
第一章 绪论第14-29页
   ·研究背景及意义第14-15页
   ·国内外相关研究现状第15-28页
     ·激光抛光机理的研究第15-19页
     ·激光抛光材料去除机理的主要影响因素及其影响规律研究第19-28页
   ·课题来源及主要研究内容第28-29页
     ·课题来源第28页
     ·主要研究内容第28-29页
第二章 短波长激光抛光蓝宝石晶体机理的理论研究第29-39页
   ·激光与蓝宝石晶体的热作用第29-36页
     ·激光抛光蓝宝石晶体材料的熔化、蒸发去除第32-35页
     ·激光抛光蓝宝石的温度场有限元计算第35-36页
   ·激光与蓝宝石晶体的光化学作用第36-38页
   ·本章小结第38-39页
第三章 实验材料与实验装置第39-50页
   ·蓝宝石晶体的物理、化学特性第39-41页
     ·蓝宝石晶体的结构成分及特征第39页
     ·蓝宝石晶体主要的物理性能及其影响因素第39-41页
   ·实验设备装置第41-45页
     ·激光器第41-43页
     ·移动工作台第43-45页
     ·测量仪器、设备第45页
   ·实验研究方法第45-49页
     ·激光打孔试验第46页
     ·激光抛光试验第46-49页
   ·本章小结第49-50页
第四章 短波长激光抛光蓝宝石机理的实验研究第50-64页
   ·激光打孔的表面形貌第50-52页
     ·绿光激光打孔表面形貌第50-51页
     ·紫外光激光打孔表面形貌第51-52页
   ·绿光激光抛光蓝宝石晶体机理的实验研究第52-58页
     ·绿光激光抛光表面形貌特征第52-54页
     ·加工条件对绿光激光抛光蓝宝石晶体机理的影响第54-58页
   ·紫外光激光抛光蓝宝石晶体机理的实验研究第58-62页
     ·紫外光激光抛光表面形貌特征第58-60页
     ·加工条件对紫外光激光抛光蓝宝石晶体机理的影响第60-62页
   ·本章小结第62-64页
结论与展望第64-65页
参考文献第65-68页
攻读硕士学位期间发表的论文第68-70页
致谢第70-71页
附录I XY移动工作台运动控制程序清单第71-76页

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