流体二维振动抛光超声场分析及实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| Contents | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·国内外相关课题研究现状 | 第15-20页 |
| ·超光滑表面流体抛光技术 | 第15-18页 |
| ·超声的研究与应用 | 第18-20页 |
| ·本课题的研究概况 | 第20-23页 |
| ·研究意义以及研究目标 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第21页 |
| ·课题的研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 流体二维振动抛光的研究基础 | 第23-31页 |
| ·基本原理与特点 | 第23-24页 |
| ·抛光实验装置 | 第24-26页 |
| ·理论与实验基础 | 第26-30页 |
| ·振动流场的研究 | 第26-27页 |
| ·微观材料去除机理的研究 | 第27-29页 |
| ·超声空化效应与局部流场的分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 超声换能器输出特性与声强分布测量 | 第31-41页 |
| ·超声换能器输出特性测量 | 第31-33页 |
| ·声场声强分布测量 | 第33-37页 |
| ·水听器法 | 第33-36页 |
| ·染色法 | 第36-37页 |
| ·游离磨料的运动速度初步推算 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 整体声场压力仿真及装置的优化设计 | 第41-62页 |
| ·超声三维波动方程推导 | 第41-44页 |
| ·整体声场压力仿真及讨论 | 第44-52页 |
| ·装置的优化设计 | 第52-61页 |
| ·抛光槽的优化设计 | 第52-58页 |
| ·抛光夹具的优化设计 | 第58-59页 |
| ·实验对比 | 第59-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第五章 流体二维振动抛光实验研究 | 第62-80页 |
| ·实验材料 | 第62-63页 |
| ·石英玻璃 | 第62页 |
| ·硅片 | 第62-63页 |
| ·表面粗糙度测量仪器 | 第63-65页 |
| ·WYKO非接触表面轮廓仪 | 第63-64页 |
| ·SRT-1(F)型表面粗糙度测量仪 | 第64-65页 |
| ·石英玻璃抛光实验 | 第65-70页 |
| ·输入电压的影响 | 第65-67页 |
| ·抛光液浓度的影响 | 第67-69页 |
| ·抛光时间的影响 | 第69-70页 |
| ·硅片的抛光实验 | 第70-74页 |
| ·抛光时间的影响 | 第70-73页 |
| ·化学添加剂的影响 | 第73-74页 |
| ·正交抛光实验设计与分析 | 第74-79页 |
| ·实验因数水平以及正交表选择 | 第75页 |
| ·实验结果以及方差分析 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 结论与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
