基于隧道效应的纳米级振动检测理论与技术的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-26页 |
| ·扫描隧道显微镜及其原理 | 第8-13页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第10-11页 |
| ·扫描隧道显微镜原理 | 第11-13页 |
| ·扫描隧道显微镜隔振系统分析 | 第13-17页 |
| ·纳米级振动研究的技术及现状 | 第17-22页 |
| ·多普勒激光测振 | 第19页 |
| ·电子散斑测振 | 第19-20页 |
| ·激光强度比较式F-P空腔锁定技术测振 | 第20-21页 |
| ·MEMS工艺加速度传感器 | 第21页 |
| ·电容式振动传感器 | 第21-22页 |
| ·纳米测试中的干扰振动源 | 第22-23页 |
| ·本课题的主要研究内容和意义 | 第23-26页 |
| 第二章 基于隧道效应的检测理论及模型分析 | 第26-40页 |
| ·电子隧道现象 | 第26-32页 |
| ·弹性隧道效应 | 第26-32页 |
| ·稳态隧道模型 | 第27-29页 |
| ·过渡哈密顿量方法 | 第29-31页 |
| ·等价性讨论 | 第31-32页 |
| ·非弹性隧道效应 | 第32页 |
| ·针尖－样品表面相互作用模型 | 第32-35页 |
| ·隧道电流 | 第32-34页 |
| ·隧道电导率 | 第34-35页 |
| ·振动的基本理论和频谱分析 | 第35-37页 |
| ·STM主动隔振技术的发展 | 第37-40页 |
| 第三章 纳米级振动测量系统设计 | 第40-68页 |
| ·实验装置总体介绍 | 第40-41页 |
| ·纳米测量机定位装置 | 第41-46页 |
| ·微振动测量及补偿单元 | 第46-49页 |
| ·传感器测头设计 | 第49-50页 |
| ·隧道电流检测单元 | 第50-58页 |
| ·微弱信号噪声分析 | 第50-53页 |
| ·隧道电流检测电路 | 第53-58页 |
| ·信号反馈控制单元 | 第58-60页 |
| ·测量系统的数字化设计 | 第60-68页 |
| ·数字化控制系统 | 第60-61页 |
| ·中央控制单元 | 第61-63页 |
| ·偏压控制设计 | 第63-64页 |
| ·数模转换器和模数转换器 | 第64-68页 |
| 第四章 振动检测实验及数据处理 | 第68-94页 |
| ·纳米测量机平台实验 | 第68-71页 |
| ·S303微动台标定实验 | 第71-72页 |
| ·隧道电流检测实验 | 第72-79页 |
| ·干扰源因素 | 第72-75页 |
| ·隧道电流检测的静态标定 | 第75-77页 |
| ·隧道电流检测的动态响应 | 第77-79页 |
| ·微振动检测实验 | 第79-92页 |
| ·隧道电流测试 | 第79-84页 |
| ·微振动检测实验 | 第84-92页 |
| ·系统误差分析 | 第92-94页 |
| 第五章 总结和展望 | 第94-98页 |
| 参考文献 | 第98-105页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
