物理气相沉积氮化铬涂层的制备及其摩擦学性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| ·涂层刀具制备发展概况 | 第12-15页 |
| ·刀具涂层 | 第12-14页 |
| ·刀具材料—硬质合金 | 第14-15页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第15-19页 |
| ·物理气相沉积(PVD)概述 | 第15-16页 |
| ·PVD涂层技术的分类 | 第16-17页 |
| ·PVD涂层技术的发展趋势 | 第17-19页 |
| ·磁过滤阴极真空弧(FCVA)简介 | 第19-23页 |
| ·磁过滤阴极真空弧的工作原理 | 第20-21页 |
| ·磁过滤阴极真空弧沉积的特点 | 第21-22页 |
| ·磁过滤阴极真空弧的应用 | 第22-23页 |
| ·PVD CrN涂层的研究现状 | 第23-27页 |
| ·CrN涂层的制备方法 | 第23-24页 |
| ·CrN涂层的沉积工艺 | 第24-26页 |
| ·氮气分压的影响 | 第25页 |
| ·基体偏压的影响 | 第25-26页 |
| ·界面过渡层对 CrN涂层结合强度的影响 | 第26页 |
| ·CrN涂层的抗氧化及抗腐蚀性能 | 第26页 |
| ·CrN涂层的摩擦学特性 | 第26-27页 |
| ·研究目的和意义 | 第27-29页 |
| 第2章 试验方案和内容 | 第29-37页 |
| ·试验方案 | 第29-30页 |
| ·实验材料 | 第30-31页 |
| ·对磨球试样材料 | 第30页 |
| ·平面试样材料 | 第30-31页 |
| ·涂层制备 | 第31-33页 |
| ·磁过滤阴极真空弧源方法制备 CrN涂层 | 第31-33页 |
| ·涂层设备 | 第31页 |
| ·涂层沉积过程 | 第31-32页 |
| ·涂层工艺 | 第32-33页 |
| ·多弧离子镀方法制备 CrN涂层 | 第33页 |
| ·涂层成分及形貌特征分析 | 第33-34页 |
| ·涂层机械性能评价 | 第34-35页 |
| ·涂层显微硬度的测定 | 第34页 |
| ·涂层纳米硬度的测定 | 第34页 |
| ·涂层结合强度的测定 | 第34-35页 |
| ·涂层厚度及磨斑轮廓测量 | 第35页 |
| ·CrN涂层样品摩擦磨损性能 | 第35-37页 |
| 第3章 CrN涂层制备 | 第37-60页 |
| ·沉积参数 | 第37-55页 |
| ·氮气分压 | 第37-46页 |
| ·氮气分压对涂层成分、相结构的影响 | 第37-38页 |
| ·氮气分压对涂层厚度的影响 | 第38-39页 |
| ·氮气分压对涂层硬度的影响 | 第39-40页 |
| ·氮气分压对结合强度的影响 | 第40-42页 |
| ·氮气分压对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第42-46页 |
| ·基体偏压 | 第46-51页 |
| ·基体偏压对涂层成分、相结构的影响 | 第46-47页 |
| ·基体偏压对涂层厚度的影响 | 第47页 |
| ·基体偏压对涂层硬度的影响 | 第47-48页 |
| ·基体偏压对涂层结合强度的影响 | 第48-49页 |
| ·基体偏压对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第49-51页 |
| ·基底温度 | 第51-55页 |
| ·基底温度对涂层成分、相结构的影响 | 第51-52页 |
| ·基底温度对涂层厚度的影响 | 第52页 |
| ·基底温度对涂层硬度的影响 | 第52-53页 |
| ·基底温度对涂层结合强度的影响 | 第53页 |
| ·基底温度对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第53-55页 |
| ·过渡层制备参数 | 第55-58页 |
| ·Cr过渡层的制备 | 第55-57页 |
| ·过渡层制备参数对涂层的影响 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 CrN涂层摩擦磨损性能 | 第60-82页 |
| ·涂层表征 | 第60-63页 |
| ·CrN涂层形貌 | 第60-61页 |
| ·CrN涂层成分分析 | 第61-62页 |
| ·CrN涂层硬度 | 第62页 |
| ·CrN涂层和硬质合金基体之间结合强度 | 第62-63页 |
| ·摩擦系数曲线 | 第63-67页 |
| ·法向载荷的影响 | 第63-65页 |
| ·滑动速度的影响 | 第65-66页 |
| ·滑动模式的影响 | 第66-67页 |
| ·磨痕轮廓 | 第67-69页 |
| ·法向载荷的影响 | 第67-68页 |
| ·滑动速度的影响 | 第68-69页 |
| ·损伤分析 | 第69-81页 |
| ·往复滑动实验 | 第69-76页 |
| ·多弧离子镀方法制备的CrN涂层 | 第69-73页 |
| ·磁过滤阴极真空弧源方法制备的CrN涂层 | 第73-76页 |
| ·销盘实验 | 第76-81页 |
| ·多弧离子镀方法制备的 CrN涂层 | 第76-79页 |
| ·磁过滤阴极真空弧源方法制备的 CrN涂层 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 结论与展望 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第91页 |
