基于等离子体材料和硅的亚波长光子器件的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| ·光子学的发展 | 第10-16页 |
| ·衍射极限及其对光子器件集成度的限制 | 第16-18页 |
| ·实现亚波长光子器件的方法及其研究现状 | 第18-25页 |
| ·本论文的研究内容及创新点 | 第25-26页 |
| 第二章 数值模拟方法 | 第26-42页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·时域有限差分方法 | 第27-37页 |
| ·基本公式 | 第28-31页 |
| ·引入色散 | 第31-32页 |
| ·边界条件 | 第32-34页 |
| ·光源的设置以及结果分析 | 第34-35页 |
| ·轴对称结构的简化处理 | 第35-37页 |
| ·全矢景有限差分模式解 | 第37-40页 |
| ·基本公式 | 第37-38页 |
| ·E场形式与H场形式 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 集成光学器件的制作以及检测方法 | 第42-58页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·薄膜沉积 | 第42-45页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积 | 第42-44页 |
| ·电子束热蒸发 | 第44-45页 |
| ·图案生成 | 第45-50页 |
| ·电子束光刻 | 第45-48页 |
| ·光刻胶的选择 | 第48-50页 |
| ·图案转移 | 第50-55页 |
| ·反应离子刻蚀 | 第50-54页 |
| ·剥离 | 第54-55页 |
| ·端而耦合测试方法 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 表面等离子体波导及器件 | 第58-74页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·表面等离子体波导 | 第58-64页 |
| ·二维结构 | 第58-60页 |
| ·三维结构 | 第60-64页 |
| ·表面等离子体相关器件 | 第64-71页 |
| ·90°弯曲 | 第65页 |
| ·定向耦合器 | 第65-66页 |
| ·共振环滤波器 | 第66-67页 |
| ·分支耦合器 | 第67-68页 |
| ·扫描近场光学探针 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-74页 |
| 第五章 基于硅的无源光子学器件 | 第74-90页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·硅纳米线波导及器件 | 第74-81页 |
| ·阵列波导光栅 | 第76-80页 |
| ·刻蚀衍射光栅 | 第80-81页 |
| ·硅光子晶体及器件 | 第81-89页 |
| ·光子晶体波导 | 第82-84页 |
| ·光子晶体偏振分束器 | 第84-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 总结与展望 | 第90-94页 |
| 参考文献 | 第94-108页 |
| 致谢 | 第108-110页 |
| 在学期间发表的论文 | 第110-111页 |
