摘要 | 第1-8页 |
Abstract | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第10-20页 |
·纳米科学技术及其发展 | 第10页 |
·SiO_2纳米线研究概述 | 第10-11页 |
·SiO_2的性质及应用 | 第11-13页 |
·SiO_2的基本性质 | 第11页 |
·SiO_2的特殊性质 | 第11-13页 |
·纳米 SiO_2的应用 | 第13页 |
·SiO_2纳米线的制备方法 | 第13-17页 |
·本论文的选题依据 | 第17-20页 |
第二章 实验设备与测试方法 | 第20-30页 |
·实验设备 | 第20-23页 |
·溅射设备—JCK-500A 型磁控溅射仪 | 第20-22页 |
·退火设备-高温管式炉 | 第22-23页 |
·实验材料 | 第23页 |
·实验材料和气体 | 第23页 |
·衬底的预处理 | 第23页 |
·样品的测试和表征 | 第23-30页 |
·表面形貌测试-扫描电子显微镜(SEM) | 第23-25页 |
·成分分析-X 射线衍射(XRD)和 X 射线光电子能谱(XPS) | 第25-27页 |
·光学测试-光致发光(PL)、傅里叶红外吸收(FTIR) | 第27-30页 |
第三章 不同 Si 源和生长条件对 SiO_2纳米线形貌的影响 | 第30-36页 |
·SiO_2纳米线的制备 | 第30页 |
·Si 源对 SiO_2纳米线形貌的影响 | 第30-31页 |
·退火温度对 SiO_2纳米线形貌的影响 | 第31-32页 |
·退火时间对 SiO_2纳米线形貌的影响 | 第32-34页 |
·衬底对 SiO_2纳米线形貌的影响 | 第34页 |
·本章小结 | 第34-36页 |
第四章 磁控溅射和退火法制备长直 SiO_2纳米线、纳米花以及纳米灯笼 | 第36-48页 |
·新奇 SiO_2纳米线的制备 | 第36-37页 |
·长直纳米线的测试及表征 | 第37-41页 |
·纳米花和纳米灯笼的测试和表征 | 第41-45页 |
·SiO_2纳米线的生长机理的研究 | 第45-46页 |
·本章小结 | 第46-48页 |
第五章 全文总结 | 第48-52页 |
·本文的主要研究成果 | 第48-50页 |
·对今后工作的建议 | 第50-52页 |
参考文献 | 第52-58页 |
在学期间发表的学术论文 | 第58-60页 |
致谢 | 第60页 |