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溶胶凝胶法制备纳米氧化锌薄膜及性能分析

第一章 绪论第1-30页
   ·纳米材料及其基本特性第6-8页
     ·纳米材料简介第6页
     ·纳米材料的基本特性第6-8页
   ·薄膜技术的发展第8-9页
     ·薄膜技术的发展过程第8-9页
     ·薄膜的体系性能及应用第9页
   ·薄膜的主要制备方法第9-11页
     ·分子束外延生长法第10页
     ·溅射镀膜第10页
     ·化学气相沉积法第10-11页
   ·溶胶-凝胶法第11-14页
     ·溶胶凝胶法发展历程简介第11-12页
     ·溶胶凝胶法基本原理第12-13页
     ·溶胶凝胶法制备薄膜的常用方法第13-14页
   ·氧化锌简介与结构特性第14-16页
     ·简介第14-15页
     ·ZnO 的结构特性第15-16页
   ·ZnO 的基本性能第16-23页
     ·光学特性第16-18页
     ·光催化特性第18-20页
     ·光电转换特性第20-21页
     ·电学特性第21页
     ·ZnO 薄膜的气敏与压敏特性第21-22页
     ·氧化锌的阻燃性与增稠作用第22-23页
   ·氧化锌的应用第23-28页
     ·制作紫外光探测器第24页
     ·可与GaN 互作缓冲层第24-25页
     ·用于光电器件的单片集成第25-26页
     ·制作表面声波器件第26-28页
   ·本文研究的目的及内容第28-30页
第二章 实验材料及实验方法第30-38页
   ·实验依据第30-32页
   ·实验原料及使用仪器第32-33页
     ·实验原料第32页
     ·实验所用仪器第32-33页
     ·基板材料及处理方法第33页
   ·薄膜制备过程第33-35页
     ·氧化锌溶胶的制备第33页
     ·基片的清洗第33-34页
     ·涂膜第34页
     ·干燥第34页
     ·热处理第34-35页
   ·测试方法第35-38页
     ·差热与失重分析第35页
     ·红外光谱分析第35-36页
     ·物相结构分析第36页
     ·薄膜表面形貌分析第36页
     ·透射与吸收光谱分析第36页
     ·PL 谱分析第36-38页
第三章 实验结果与讨论第38-59页
   ·引言第38-39页
   ·厚度及胶体的加水量对薄膜质量的影响第39-41页
     ·厚度对薄膜质量的影响第39-40页
     ·胶体加水量的变化对薄膜质量的影响第40-41页
   ·柠檬酸对氧化锌薄膜质量的影响第41-44页
     ·络合物结构分析第41-43页
     ·晶化温度和物相分析第43-44页
   ·温度对氧化锌薄膜质量的影响第44-55页
     ·XRD (X-ray diffraction)谱第44-47页
     ·FE–SEM第47-52页
     ·薄膜的光学性能以及温度对其的影响第52-53页
     ·PL (photo luminescence)谱第53-55页
   ·陈化过程对纳米ZnO 微粒结构性质的影响第55-59页
     ·陈化时间对胶粒尺寸的影响第55-56页
     ·陈化时间对荧光光谱的影响第56-59页
第四章 结论第59-61页
参考文献第61-70页
摘要第70-73页
ABSTRACT第73-77页
致谢第77-78页
导师及作者简介第78页

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