| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-7页 |
| 第一章 序论 | 第7-15页 |
| §1.1 研究背景 | 第7-9页 |
| §1.1.1 微光学概述 | 第7-8页 |
| §1.1.2 微光学阵列 | 第8-9页 |
| §1.2 MEMS和MOEMS | 第9-12页 |
| §1.2.1 MEMS概述 | 第9-11页 |
| §1.2.2 MOEMS的形成与发展 | 第11-12页 |
| §1.3 国内外微光学研究概况 | 第12-13页 |
| §1.4 本课题的研究内容和目的 | 第13-15页 |
| §1.4.1 课题研究的目的 | 第13页 |
| §1.4.2 研究目标 | 第13页 |
| §1.4.3 研究的创新点 | 第13-14页 |
| §1.4.4 本课题的研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 自适应光学技术简介 | 第15-34页 |
| §2.1 概述 | 第15-16页 |
| §2.2 自适应光学的基本组成 | 第16-18页 |
| §2.3 波前传感器 | 第18-27页 |
| §2.3.1 波前传感器基本原理 | 第18-19页 |
| §2.3.2 波前传感器测量的参数 | 第19-20页 |
| §2.3.3 典型的波前传感器 | 第20-27页 |
| §2.4 波前校正器 | 第27-31页 |
| §2.4.1 简介 | 第27-28页 |
| §2.4.2 变形反射镜 | 第28-31页 |
| §2.5 波前控制器 | 第31-33页 |
| §2.5.1 波前控制技术 | 第31-32页 |
| §2.5.2 控制器及控制算法 | 第32-33页 |
| §2.6 自适应光学技术的应用 | 第33-34页 |
| 第三章 压电陶瓷及压电实验 | 第34-49页 |
| §3.1 压电材料的压电性 | 第34-36页 |
| §3.2 压电陶瓷的位移特性 | 第36-40页 |
| §3.3 压电陶瓷材料的应用 | 第40-43页 |
| §3.2.1 压电滤波器 | 第40-41页 |
| §3.2.2 压电变换器 | 第41页 |
| §3.2.3 压电换能器 | 第41-42页 |
| §3.2.4 压电超声马达与驱动器 | 第42-43页 |
| §3.2.5 压电点火器 | 第43页 |
| §3.3 压电陶瓷逆压电效应的实验 | 第43-49页 |
| §3.2.1 准备 | 第43-44页 |
| §3.2.2 测量仪器 | 第44页 |
| §3.2.3 实验过程 | 第44-46页 |
| §3.2.4 实验数据分析 | 第46-47页 |
| §3.2.5 结果与讨论 | 第47-49页 |
| 第四章 基于PZT薄膜的微反射镜研究 | 第49-69页 |
| §4.1 压电陶瓷的局限性 | 第49页 |
| §4.2 几种新型的反射镜 | 第49-54页 |
| §4.2.1 薄膜反射镜 | 第50-51页 |
| §4.2.2 平面盘式反射镜 | 第51-52页 |
| §4.2.3 活塞式分离反射镜 | 第52-53页 |
| §4.2.4 双金属效应反射镜 | 第53-54页 |
| §4.3 PZT薄膜简介 | 第54-56页 |
| §4.4 PZT薄膜的制作方法 | 第56-58页 |
| §4.5 基于PZT薄膜的微反射镜实验 | 第58-69页 |
| §4.5.1 PZT薄膜工作原理 | 第58-59页 |
| §4.5.2 基于PZT薄膜的微反射镜单元制作工艺 | 第59-66页 |
| §4.5.3 结论 | 第66-69页 |
| 第五章 小结及展望 | 第69-71页 |
| §5.1 论文工作小结 | 第69-70页 |
| §5.2 工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |