| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1．1 热物性测定的研究范畴及物质的热扩散率 | 第9-10页 |
| 1．2 微尺度传热概述 | 第10-11页 |
| 1．3 薄膜热扩散率的测试 | 第11-12页 |
| 1．4 自动化测试系统与仪器控制技术 | 第12页 |
| 1．5 本文研究的内容 | 第12-13页 |
| 2 交流量热法及其实验技术 | 第13-28页 |
| 2．1 薄膜热扩散率测试方法 | 第13-14页 |
| 2．2 交流量热法的原理 | 第14-20页 |
| 2．2．1 水平方向上热扩散率的测试原理 | 第16-19页 |
| 2．2．2 垂直方向上热扩散率的测试原理 | 第19-20页 |
| 2．3 温度传感器及银浆对测试的影响 | 第20-23页 |
| 2．3．1 使用大量银浆粘贴温度传感器 | 第21-22页 |
| 2．3．2 使用少量银浆粘贴温度传感器 | 第22-23页 |
| 2．4 激光光源形状对测试的影响 | 第23-26页 |
| 2．4．1 均匀加热 | 第23-24页 |
| 2．4．2 线光源加热 | 第24页 |
| 2．4．3 点光源加热 | 第24-26页 |
| 2．5 交流量热法的误差分析 | 第26-28页 |
| 3 薄膜热扩散率自动测试系统的硬件设计 | 第28-49页 |
| 3．1 硬件系统的总体设计 | 第28-30页 |
| 3．2 精密定位系统 | 第30-38页 |
| 3．2．1 FL050-015型精密定位平台 | 第30-33页 |
| 3．2．2 精密定位系统的控制方式 | 第33-38页 |
| 3．2．3 精密定位系统的连接与集成 | 第38页 |
| 3．3 微弱信号的采集与EG&G5209型锁相放大器 | 第38-44页 |
| 3．3．1 同步相关检测技术 | 第38-42页 |
| 3．3．2 EG&G5209型锁相放大器 | 第42-44页 |
| 3．4 GPIB总线与锁相放大器的控制方式 | 第44-49页 |
| 3．4．1 GPIB总线 | 第44-47页 |
| 3．4．2 锁相放大器的控制方式 | 第47-49页 |
| 4 薄膜热扩散率自动测试系统的软件设计 | 第49-75页 |
| 4．1 面向对象的程序设计 | 第49-51页 |
| 4．2 用Visual C++6．0开发应用程序 | 第51-53页 |
| 4．2．1 Visual C++6．0基础 | 第51页 |
| 4．2．2 MFC应用程序 | 第51-52页 |
| 4．2．3 用Visua1 C++6．0开发的MFC应用程序的运行过程 | 第52-53页 |
| 4．3 自动测试系统软件整体设计 | 第53-60页 |
| 4．3．1 自动测试系统的软件框架 | 第54-56页 |
| 4．3．2 自动测试系统控制软件的实现 | 第56-60页 |
| 4．4 定时器在实时控制程序中的运用 | 第60-62页 |
| 4．4．1 Windows定时器 | 第61页 |
| 4．4．2 Windows定时器在控制软件中的使用 | 第61-62页 |
| 4．5 锁相放大器的软件控制 | 第62-66页 |
| 4．5．1 通过GPIB总线控制锁相放大器 | 第62-63页 |
| 4．5．2 锁相放大器的类封装 | 第63-66页 |
| 4．6 精密定位系统的软件控制 | 第66-69页 |
| 4．6．1 通过串口控制运动控制卡 | 第66页 |
| 4．6．2 采样定位控制的软件实现 | 第66-69页 |
| 4．7 测试数据的处理 | 第69-75页 |
| 4．7．1 数据的转换和存储 | 第69-72页 |
| 4．7．2 数据的分析 | 第72-74页 |
| 4．7．3 数据的输出 | 第74-75页 |
| 5 薄膜热扩散率自动测试系统的应用 | 第75-81页 |
| 5．1 自动测试系统的使用说明 | 第75-76页 |
| 5．1．1 硬件系统的使用 | 第75页 |
| 5．1．2 软件系统的使用 | 第75-76页 |
| 5．2 自动测试系统的测试应用 | 第76-80页 |
| 5．2．1 样品的测试 | 第76-78页 |
| 5．2．2 测试结果的分析 | 第78-80页 |
| 5．3 结论与展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |
| 附录一 自动测试系统及相关部件的实物图 | 第83-84页 |
| 附录二 控制软件部分代码 | 第84-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第88页 |
