红外热辐射计结构优化设计与器件制备

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 绪论	第9-14页
·红外微测热辐射计发展现状	第9-11页
·红外微测热辐射计的发展趋势	第11-12页
·本文主要工作	第12-14页
第二章 红外微测热辐射计结构优化设计	第14-35页
·器件红外光学设计	第15-24页
·吸收介质中的电磁波理论	第15-16页
·VOx、SiNx、Al薄膜的复折射率	第16-20页
·器件红外吸收特性模拟	第20-24页
·器件ANSYS仿真	第24-29页
·有限元方法简介	第25页
·器件ANSYS模拟	第25-29页
·器件电学性能的定性分析	第29-33页
·忽略焦耳效应的简化模型	第29-30页
·焦耳效应的影响	第30-32页
·器件热导	第32-33页
·小结	第33-35页
第三章 红外微测热辐射计制备	第35-51页
·工艺流程	第36页
·版图设计	第36-38页
·氧化钒薄膜的电阻温度特性	第38-40页
·PECVD SiN_x薄膜工艺	第40-43页
·AL反射层工艺	第43-44页
·基于AZ5214E图像反转光刻的剥离工艺	第44-45页
·PI牺牲层工艺	第45-49页
·PI预固化、固化工艺	第46-48页
·PI牺牲层释放工艺	第48-49页
·小结	第49-51页
第四章 器件测试	第51-55页
·器件制备与封装	第51页
·器件红外响应测试	第51-53页
·器件TCR测试	第53-54页
·小结	第54-55页
第五章 总结	第55-57页
参考文献	第57-58页