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MEMS封装用静电键合微晶玻璃的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-7页
第一章 引言第7-9页
第二章 文献综述第9-24页
   ·微晶玻璃概述第9-10页
   ·玻璃的分相第10-12页
     ·玻璃分相机理第10页
     ·分相的解释第10-11页
     ·分相对性质的影响第11页
     ·锂铝硅微晶玻璃的分相第11-12页
   ·玻璃的核化与晶化第12-15页
     ·玻璃的成核第12-14页
       ·均匀成核第13-14页
       ·非均相成核第14页
       ·成核速率第14页
     ·结晶速率第14-15页
   ·分相与核化晶化的关系第15-16页
     ·分相与核化的关系第15-16页
     ·分相与晶化的关系第16页
   ·微晶玻璃第16-23页
     ·基础玻璃的成分选择第16页
     ·晶核剂第16-18页
     ·热处理工艺第18-20页
     ·微观结构第20-21页
     ·国内外Li_2O-Al_2O_3-SiO_2系统的微晶玻璃的研究现状第21-23页
   ·本课题的提出第23-24页
第三章 实验方案第24-29页
   ·原始玻璃成分设计第24-26页
   ·原始玻璃的制备和晶化处理第26-27页
     ·配合料的制备第26页
     ·玻璃熔制与成形第26页
     ·退火第26页
     ·晶化处理第26-27页
   ·玻璃性能测试第27-28页
     ·梯温实验第27页
     ·热膨胀系数的测定第27页
     ·弯曲强度测定和弹性模量的测定第27页
     ·电阻率的测定第27-28页
   ·材料热分析和结构研究第28-29页
     ·差热分析第28页
     ·X射线衍射分析第28页
     ·电子显微分析第28-29页
第四章 结果与讨论第29-45页
   ·玻璃组分对熔化性能的影响第29-30页
   ·玻璃组成对热处理制度的影响第30-34页
     ·核化温度第30-31页
     ·晶化温度第31-34页
   ·微晶玻璃的结构及其影响因素第34-39页
     ·组成对玻璃析晶性能的影响第34页
     ·热处理对微晶玻璃晶相的影响第34-39页
   ·微晶玻璃微观结构分析第39-45页
第五章 微晶玻璃的理化性能第45-53页
   ·热膨胀系数第45-47页
     ·组成对膨胀系数的影响第45-46页
     ·热处理工艺制度对膨胀系数的影响第46-47页
   ·电阻率第47-49页
     ·概述第47页
     ·结果与讨论第47-49页
   ·强度第49-53页
     ·概述第49-51页
     ·实验结果与分析第51-53页
第六章 结论与展望第53-54页
参考文献第54-57页
本人简历第57页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第57-58页
致谢第58页

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