MEMS光开关的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·光交换技术 | 第8页 |
| ·什么是光开关 | 第8-10页 |
| ·光开关的应用领域 | 第8-9页 |
| ·几种新型光开关技术特点分析 | 第9-10页 |
| ·MEMS光开关 | 第10-14页 |
| ·MEMS光开关简介 | 第10-11页 |
| ·几种典型的MEMS光开关 | 第11-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS光开关的结构设计 | 第15-36页 |
| ·MEMS光开关的结构 | 第15-18页 |
| ·MEMS光开关的特点 | 第15页 |
| ·MEMS光开关的工作原理 | 第15-16页 |
| ·MEMS光开关的驱动方式 | 第16-18页 |
| ·热驱动执行器 | 第16-18页 |
| ·静电驱动执行器 | 第18页 |
| ·MEMS光开关的设计方案 | 第18-22页 |
| ·设计方案的确定 | 第18-19页 |
| ·减少光纤连接损耗的设计 | 第19-20页 |
| ·光纤的选择 | 第20页 |
| ·光纤槽的设计 | 第20-22页 |
| ·对准结构的设计 | 第22页 |
| ·封装与测试方案 | 第22页 |
| ·设计的几种光开关结构 | 第22-25页 |
| ·热驱动悬臂梁光开关的结构 | 第22-23页 |
| ·静电驱动悬臂梁光开关的结构 | 第23-24页 |
| ·静电驱动四悬臂梁式MEMS光开关 | 第24-25页 |
| ·MEMS光开关模型的建立与模拟 | 第25-35页 |
| ·模拟软件 | 第25页 |
| ·静电驱动四悬臂梁式光开关 | 第25-29页 |
| ·模型的建立和简化 | 第25-26页 |
| ·模拟结果与分析 | 第26-29页 |
| ·模拟参数 | 第26页 |
| ·结果分析 | 第26-29页 |
| ·结论 | 第29页 |
| ·热驱动悬臂梁光开关的模拟与分析 | 第29-34页 |
| ·模型的建立 | 第29-30页 |
| ·模拟结果与分析 | 第30-34页 |
| ·模拟参数 | 第30-31页 |
| ·结果分析 | 第31-34页 |
| ·结论 | 第34页 |
| ·最终设计尺寸 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 MEMS光开关的工艺设计与加工 | 第36-47页 |
| ·微反射镜与光纤槽的自对准工艺设计 | 第36-39页 |
| ·KOH的腐蚀特性 | 第37-38页 |
| ·光纤槽与反射镜的自对准工艺设计 | 第38页 |
| ·加工中尺寸的控制 | 第38-39页 |
| ·工艺的特点 | 第39页 |
| ·封装考虑 | 第39页 |
| ·版图设计 | 第39-40页 |
| ·流程设计 | 第40-46页 |
| ·第一次工艺流程 | 第40-41页 |
| ·工艺流程图 | 第41-44页 |
| ·工艺分析 | 第44-46页 |
| ·高台阶光刻问题 | 第44页 |
| ·结构释放问题 | 第44-45页 |
| ·镜面质量问题 | 第45-46页 |
| ·工艺流水情况 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 MEMS光开关的测试分析 | 第47-53页 |
| ·光纤连接损耗分析 | 第47-48页 |
| ·光开关的封装 | 第48-49页 |
| ·连接损耗测试 | 第49-50页 |
| ·测试环境的搭建 | 第49-50页 |
| ·测试与分析 | 第50页 |
| ·光开关设计的改进 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 总结 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 图表索引 | 第57-59页 |
| 附录 | 第59-68页 |
| 发表论文及申请专利 | 第68页 |
