| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 0 绪论 | 第6-9页 |
| ·课题研究背景 | 第6-7页 |
| ·本论文的研究重点及创新点 | 第7-9页 |
| 1 移相干涉术 | 第9-27页 |
| ·移相干涉术的基本原理及其优点 | 第9-13页 |
| ·移相算法 | 第13-17页 |
| ·不同的移相算法及误差分析 | 第13-17页 |
| ·有效区域的确定 | 第17-18页 |
| ·相位展开技术 | 第18-24页 |
| ·基于宽度优先搜索的相位展开技术 | 第20-23页 |
| ·相位展开实例 | 第23-24页 |
| ·滤波与相位展开技术的结合运用 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 2 移相器的标定及非线性误差的消除 | 第27-39页 |
| ·用虚光栅莫尔条纹技术测量移相器位移曲线 | 第27-32页 |
| ·虚光栅莫尔条纹技术相位测试原理 | 第27-30页 |
| ·移相器位移曲线测量 | 第30-31页 |
| ·实验数据 | 第31-32页 |
| ·PZT位移曲线的实时测量 | 第32-36页 |
| ·PZT位移测量原理 | 第32-35页 |
| ·PZT位移特性曲线测量实验 | 第35-36页 |
| ·移相器非线性误差的消除 | 第36-37页 |
| ·本章小节 | 第37-39页 |
| 3 双波长移相干涉术 | 第39-52页 |
| ·双波长全息干涉术(TWH)概况 | 第39-40页 |
| ·双波长全息干涉术(TWH)的原理和误差放大效应 | 第39-40页 |
| ·双波长移相干涉术原理与特点 | 第40-49页 |
| ·双波长移相干涉术(TWLPSI)原理 | 第40-45页 |
| ·双波长移相干涉术(TWLPSI)的误差 | 第45页 |
| ·双波长移相干涉术(TWLPSI)的误差放大效应及其消除 | 第45-49页 |
| ·误差放大效应消除实验 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 实验及结果 | 第52-60页 |
| ·实验装置及实验步骤 | 第52-53页 |
| ·实验一:加载频的平面平晶测试 | 第53-55页 |
| ·实验二:大误差面形反射镜测试 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 5 全文总结 | 第60-62页 |
| ·本论文所作的工作及创新点 | 第60-61页 |
| ·需要改进的地方 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |