电泳沉积法制备纳米晶金刚石场发射阴极研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 绪论	第8-20页
·电子显示器件	第8-9页
·场致发射显示器	第9-12页
·FED发展与研究现状	第9-11页
·FED的性能优势	第11页
·FED器件结构	第11-12页
·场发射显示器阴极	第12-17页
·阴极发射体材料	第12-14页
·阴极结构及场发射机理	第14-17页
·论文研究内容和结构安排	第17-20页
第二章 纳米晶金刚石场致电子发射理论	第20-30页
·场致电子发射理论	第20-23页
·场致电子发射	第20-21页
·Fowler-Nordheim场致电子发射理论	第21-22页
·半导体的场致发射	第22-23页
·负电子亲和势与表面场增强效应	第23页
·纳米晶金刚石场发射阴极设计理论依据	第23-29页
·发射体材料的选择	第24-26页
·基底材料的选择	第26-27页
·钛基纳米晶金刚石场发射模型理论	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第三章 纳米晶金刚石场发射阴极制备工艺流程设计	第30-40页
·电泳法简介	第30页
·电泳沉积技术原理	第30-31页
·电泳液方案设计	第31-33页
·电泳液配制要求	第31-32页
·电泳液方案	第32-33页
·电泳沉积纳米晶金刚石涂层工艺流程设计	第33-39页
·基底处理、电泳液的配制和分散	第34页
·电泳装置及电泳沉积操作	第34-35页
·热处理环节	第35-36页
·场发射测试	第36-37页
·氢等离子表面处理	第37-39页
·本章小结	第39-40页
第四章 场发射阴极制备工艺优化及性能研究	第40-60页
·不同方案样品的电泳沉积效果及分析	第40-45页
·沉积效果对比	第40-42页
·热处理后样品成分对比	第42页
·场发射性能对比	第42-43页
·发光效果对比	第43页
·方案三样品结构成分的进一步探索	第43-45页
·样品制备工艺参数优化设计	第45-48页
·实验方法选择	第45-47页
·正交实验指标、因素与水平确定	第47-48页
·工艺参数确定	第48-56页
·开启电场的实验结果分析	第48-50页
·电流密度的实验结果分析	第50-51页
·样品场发射性能、表面形貌和发光效果对比分析	第51-55页
·工艺参数对比分析	第55-56页
·优化工艺参数实验验证	第56页
·改善电泳沉积工艺的探索	第56-59页
·超声分散和电泳操作同时进行	第57-58页
·掺钦电泳	第58-59页
·本章小结	第59-60页
第五章 阴极样品的氢等离子体表面处理	第60-72页
·金刚石表面氢处理理论	第60-62页
·氢在金刚石表面的吸附	第60-61页
·氢等离子体与金刚石的相互作用	第61-62页
·实验设计与结果分析	第62-69页
·实验参数选定	第62-63页
·氢处理对场发射特性的影响	第63-64页
·氢处理样品性能和发光效果对比分析	第64-69页
·优化工艺参数实验验证	第69页
·本章小结	第69-72页
第六章 温度和真空度对阴极样品场发射性能的影响	第72-82页
·金刚石场发射器件的可靠性优势	第72-73页
·温度对阴极场发射性能的影响	第73-78页
·变温场发射测试系统设计	第73-74页
·结果分析	第74-76页
·变温测试的进一步探究	第76-78页
·真空度对阴极场发射性能的影响	第78-80页
·真空度对开启电场的影响	第78-79页
·真空度对电流密度的影响	第79-80页
·温度与系统真空度的交互影响	第80页
·本章小结	第80-82页
总结	第82-86页
工作总结	第82-83页
问题及进一步工作展望	第83-86页
参考文献	第86-92页
攻读硕士学位期间取得的学术成果	第92-94页
致谢	第94页