电容式微机械加速度计处理电路研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-14页 |
| ·微机械加速度传感器的应用 | 第8-10页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第10-12页 |
| ·微机械加速度传感器基本工作原理 | 第12-14页 |
| ·电容检测式微机械加速度计 | 第14-17页 |
| ·电容检测式微机械加速度计的分类 | 第14-15页 |
| ·变间距式电容检测微机械加速度计工作原理 | 第15-16页 |
| ·变面积式平行板电容结构 | 第16-17页 |
| ·本论文的意义以及主要工作 | 第17-19页 |
| 第2章 模拟式电容检测电路设计 | 第19-47页 |
| ·电容检测电路的分类 | 第19-25页 |
| ·环形二极管电容检测电路 | 第19-21页 |
| ·开关电容积分型检测电路 | 第21-23页 |
| ·连续时间调制-解调型电容检测电路 | 第23-25页 |
| ·单路载波调制型电容检测电路设计 | 第25-40页 |
| ·单路载波调制型电容检测电路结构 | 第25页 |
| ·载波产生模块设计 | 第25-30页 |
| ·差分放大模块设计 | 第30-33页 |
| ·移相器和同步解调模块设计 | 第33-40页 |
| ·影响电容检测电路性能因素分析 | 第40-45页 |
| ·载波信号对系统性能的影响 | 第40页 |
| ·相位控制精度对系统性能的影响 | 第40-41页 |
| ·寄生效应对系统性能的影响 | 第41-44页 |
| ·温度补偿方案设计 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 数字式电容检测电路设计 | 第47-84页 |
| ·数字式电容检测系统 | 第47-71页 |
| ·相干检测方式性能比较 | 第47-49页 |
| ·数字式电容检测系统原理和组成 | 第49-53页 |
| ·数字系统硬件结构 | 第53-61页 |
| ·CORDIC算法原理和实现 | 第61-71页 |
| ·幅度解调模块参数优化 | 第71-77页 |
| ·AD采样引入的量化噪声 | 第72-73页 |
| ·CORDIC算法引入的噪声 | 第73-74页 |
| ·系统输出总噪声 | 第74-75页 |
| ·数字系统的参数优化 | 第75-77页 |
| ·幅度解调模块自动相位控制 | 第77-83页 |
| ·调幅信号相位对幅度解调的影响 | 第77-78页 |
| ·自动相位控制系统原理 | 第78-80页 |
| ·自动相位控制模块在FPGA中的实现 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第4章 加速度计性能检测结果 | 第84-92页 |
| ·加速度计检测电路稳定性测试 | 第84-88页 |
| ·模拟式加速度计检测电路稳定性测试 | 第84-86页 |
| ·数字式加速度计检测电路稳定性测试 | 第86-88页 |
| ·加速度计检测电路线性度测试 | 第88-89页 |
| ·模拟式加速度计检测电路线性度测试 | 第88页 |
| ·数字式加速度计检测电路线性度测试 | 第88-89页 |
| ·模拟加速度计温度特性测试 | 第89-90页 |
| ·模拟加速度计带宽特性测试 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第5章 总结与展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 作者硕士期间发表论文以及获奖情况 | 第100页 |
