石英晶振器件的激光刻蚀频率微调研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-10页 |
| 图录 | 第10-12页 |
| 表录 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·激光微加工的特点及其实际应用 | 第14-15页 |
| ·石英晶振频率微调国内外研究现状与进展 | 第15-23页 |
| ·蒸发频率微调技术 | 第15-17页 |
| ·磁控溅射频率微调技术 | 第17-19页 |
| ·离子束刻蚀频率微调 | 第19-23页 |
| ·论文的研究内容和章节安排 | 第23-25页 |
| ·论文的研究内容 | 第23-24页 |
| ·论文的章节安排 | 第24-25页 |
| 第2章 石英晶体谐振器与激光频率微调技术 | 第25-38页 |
| ·石英晶体谐振器 | 第25-28页 |
| ·石英晶体谐振器的结构 | 第25-26页 |
| ·压电效应 | 第26页 |
| ·符号和等效电路 | 第26-27页 |
| ·石英晶体谐振频率 | 第27-28页 |
| ·激光频率微调技术 | 第28-35页 |
| ·激光、激光的基本原理 | 第29-32页 |
| ·激光微调技术的原理 | 第32-33页 |
| ·激光频率微调技术 | 第33-35页 |
| ·激光频率微调技术的优、缺点 | 第35页 |
| ·本课题方案选取 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 激光频率微调的可行性研究 | 第38-51页 |
| ·激光频率微调理论分析 | 第38-39页 |
| ·激光频率微调实验分析 | 第39-49页 |
| ·激光器及激光微调系统 | 第39-42页 |
| ·频率检测 | 第42-44页 |
| ·实验器材 | 第44页 |
| ·实验步骤 | 第44-45页 |
| ·实验结果 | 第45-49页 |
| ·实验结果分析 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 激光频率微调的机理研究 | 第51-71页 |
| ·物质对激光的反射和吸收 | 第51-54页 |
| ·折射率和吸收系数 | 第51-53页 |
| ·脉冲激光的吸收机理 | 第53-54页 |
| ·激光作用固体材料的热效应解析模型介绍 | 第54-56页 |
| ·热传导方程和基本热物理参数 | 第54-55页 |
| ·激光辐照固体材料的热模型 | 第55-56页 |
| ·激光损伤的机理研究 | 第56-63页 |
| ·样本 | 第57页 |
| ·激光损伤的测量 | 第57页 |
| ·结果和分析 | 第57-63页 |
| ·激光损伤的测量 | 第63-70页 |
| ·实验结果分析 | 第63-69页 |
| ·结论 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第5章 激光频率微调的工艺研究 | 第71-96页 |
| ·课题的技术路线 | 第71-72页 |
| ·四变量方法 | 第72-73页 |
| ·实验介绍 | 第73-79页 |
| ·实验样本 | 第73页 |
| ·激光器 | 第73-76页 |
| ·频率检测 | 第76-79页 |
| ·不同工作环境下微调工艺的研究 | 第79-87页 |
| ·大气环境下的激光减薄 | 第79-82页 |
| ·真空环境下的激光减薄 | 第82-86页 |
| ·小结 | 第86-87页 |
| ·不同刻蚀方法微调工艺的研究 | 第87-93页 |
| ·激光减薄工艺 | 第87-92页 |
| ·激光刻蚀图形 | 第92-93页 |
| ·本章小结 | 第93-96页 |
| 第6章 激光频率微调系统的研究 | 第96-99页 |
| ·激光频率微调系统设计 | 第96-97页 |
| ·激光频率微调软件设计 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第7章 激光频率微调的扩展性研究 | 第99-104页 |
| ·频率漂移现象 | 第99-100页 |
| ·多片晶片同时微调 | 第100-101页 |
| ·激光光刻技术 | 第101-102页 |
| ·激光检测技术 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第8章 总结与展望 | 第104-107页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第104-105页 |
| ·论文的主要创新点 | 第105-106页 |
| ·论文的不足之处和将来的工作 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 个人简历 在校期间发表的学术论文及科研成果 | 第111页 |
