| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·光敏玻璃的发展状况 | 第9-11页 |
| ·光敏玻璃的激光微加工 | 第11-14页 |
| ·本课题研究的意义和主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 紫外脉冲激光和光敏玻璃相互作用理论 | 第16-27页 |
| ·纳秒脉冲激光与材料的相互作用机理 | 第16-19页 |
| ·激光与固体相互作用过程 | 第16-18页 |
| ·双温模型 | 第18-19页 |
| ·FOTURAN 光敏玻璃的典型工艺流程 | 第19-22页 |
| ·紫外脉冲激光和FOTURAN 光敏玻璃的作用机理 | 第22-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 紫外脉冲激光微加工系统的总体设计 | 第27-43页 |
| ·系统功能和总体设计 | 第27-29页 |
| ·系统功能模块 | 第29-42页 |
| ·激光器 | 第29-33页 |
| ·光路系统设计 | 第33-35页 |
| ·机械结构设计 | 第35-37页 |
| ·上位机图形软件平台 | 第37-41页 |
| ·控制系统设计 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 紫外脉冲激光微加工系统的控制系统 | 第43-66页 |
| ·控制系统硬件的总体设计 | 第43-48页 |
| ·DSP 处理单元的硬件设计 | 第44-46页 |
| ·FPGA 处理单元的硬件设计 | 第46-47页 |
| ·CPLD 处理单元的硬件设计 | 第47-48页 |
| ·控制系统软件的总体设计 | 第48-64页 |
| ·运动控制算法 | 第49-52页 |
| ·DSP 数据处理单元的软件设计 | 第52-59页 |
| ·FPGA 单元的软件设计 | 第59-60页 |
| ·CPLD 单元的软件设计 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 实验和分析 | 第66-93页 |
| ·实验环境 | 第66-69页 |
| ·FOTURAN 玻璃加工工艺及优化 | 第69-74页 |
| ·FOTURAN 微结构加工 | 第74-91页 |
| ·FOTURAN 玻璃微坑的加工研究 | 第75-80页 |
| ·FOTURAN 玻璃微通道的加工研究 | 第80-85页 |
| ·FOTURAN 玻璃可控形状的加工 | 第85-89页 |
| ·FOTURAN 玻璃上图形化的微结构加工 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第六章 总结和展望 | 第93-97页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第93-94页 |
| ·论文的创新点 | 第94-95页 |
| ·工作展望 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-108页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第108-110页 |
| 致谢 | 第110页 |