一种Pt薄膜微加热器的设计加工和沸腾特性研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 微尺度的传热 | 第12-13页 |
| 1.1.1 微尺度效应 | 第12页 |
| 1.1.2 微尺度传热特性 | 第12-13页 |
| 1.2 MEMS技术 | 第13-14页 |
| 1.3 课题研究背景 | 第14-16页 |
| 1.4 课题意义 | 第16-17页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第17-20页 |
| 第2章 一种微加热器的设计及其温升特性 | 第20-38页 |
| 2.1 微加热器的设计目的 | 第20页 |
| 2.2 Pt薄膜微加热器的工作原理及特点 | 第20-23页 |
| 2.2.1 微加热器工作原理 | 第20-22页 |
| 2.2.2 微加热器的特点 | 第22-23页 |
| 2.3 Pt薄膜微加热器的选材 | 第23-25页 |
| 2.3.1 加热膜材料 | 第23页 |
| 2.3.2 微加热器衬底材料 | 第23-25页 |
| 2.3.3 微加热器绝缘体材料 | 第25页 |
| 2.4 微加热器的结构设计 | 第25-27页 |
| 2.5 微加热器温度场的仿真模拟 | 第27-35页 |
| 2.5.1 研究问题 | 第27页 |
| 2.5.2 研究方法 | 第27-28页 |
| 2.5.3 仿真过程 | 第28-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-38页 |
| 第3章 微加热器的加工 | 第38-52页 |
| 3.1 MEMS加工工艺简介 | 第38-47页 |
| 3.1.1 硅片清洗技术 | 第38-40页 |
| 3.1.2 薄膜沉积工艺 | 第40-44页 |
| 3.1.3 光刻工艺 | 第44-46页 |
| 3.1.4 刻蚀工艺 | 第46-47页 |
| 3.2 Pt薄膜微加热器的制备 | 第47-49页 |
| 3.2.1 微加热器制备工艺要求 | 第48页 |
| 3.2.2 微加热器制备工艺流程 | 第48-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-52页 |
| 第4章 实验系统及方法 | 第52-60页 |
| 4.1 实验装置及系统 | 第52-55页 |
| 4.1.1 脉冲热流实验装置系统 | 第52-53页 |
| 4.1.2 虚拟脉冲发生器 | 第53-55页 |
| 4.1.3 实验台的搭建 | 第55页 |
| 4.2 实验段 | 第55-57页 |
| 4.2.1 微加热器的选取 | 第55-56页 |
| 4.2.2 实验工质的制备 | 第56-57页 |
| 4.2.3 实验过程 | 第57页 |
| 4.3 数据处理及误差分析 | 第57-59页 |
| 4.3.1 数据处理 | 第57-58页 |
| 4.3.2 误差分析 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 微加热器上的沸腾现象及气泡动力学 | 第60-70页 |
| 5.1 微气泡成核的可视化 | 第60-62页 |
| 5.2 微气泡动力学行为分析 | 第62-66页 |
| 5.3 微气泡生成的起始电压功率分析 | 第66-67页 |
| 5.4 实验验证模拟 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 论文总结 | 第70-71页 |
| 6.2 论文展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
