| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-27页 |
| §1.1 VCSEL结构特点与发展历史 | 第9-11页 |
| §1.2 VCSEL的发展现状与趋势 | 第11-15页 |
| §1.3 高功率半导体激光器的应用 | 第15-19页 |
| §1.4 高功率VCSEL的研究现状与难点 | 第19-24页 |
| §1.5 本论文的主要研究内容 | 第24-27页 |
| 第二章 高功率VCSEL热相关理论分析 | 第27-41页 |
| §2.1 热效应对高功率VCSEL性能的影响 | 第27-31页 |
| §2.2 高功率VCSEL热效应产生机理 | 第31-33页 |
| §2.3 高功率VCSEL的热阻 | 第33-36页 |
| §2.4 高功率VCSEL的热分析模型 | 第36-39页 |
| 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 基于Al_xN_y膜钝化层的径向桥电极高功率VCSEL的设计 | 第41-69页 |
| §3.1 高功率VCSEL外延片的设计 | 第41-54页 |
| §3.2 高功率VCSEL外延片的生长与测试 | 第54-59页 |
| §3.3 高功率VCSEL器件的结构设计 | 第59-66页 |
| §3.4 高功率VCSEL的电光转换效率 | 第66-68页 |
| 本章小结 | 第68-69页 |
| 第四章 基于Al_xN_y膜钝化层的径向桥电极高功率VCSEL制备工艺的研究 | 第69-91页 |
| §4.1 湿法腐蚀工艺的研究 | 第69-74页 |
| §4.2 湿法氧化工艺的研究 | 第74-81页 |
| §4.3 Al_xN_y镀膜工艺的研究 | 第81-86页 |
| §4.4 Al_xN_y膜钝化层径向桥电极980nm高功率VCSEL制备工艺流程 | 第86-88页 |
| 本章小结 | 第88-91页 |
| 第五章 基于Al_xN_y膜钝化层的径向桥电极980nm高功率VCSEL的性能测试 | 第91-105页 |
| §5.1 高功率VCSEL光电特性测试与分析 | 第91-95页 |
| §5.2 高功率VCSEL温度特性测试与分析 | 第95-99页 |
| §5.3 高功率VCSEL光学特性测试与分析 | 第99-104页 |
| 本章小结 | 第104-105页 |
| 结论 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-115页 |
| 博士学位在读期间发表的论文及其他成果 | 第115页 |
