| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS多层薄膜材料参数测试 | 第10-11页 |
| 1.3 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS材料参数测试方法研究 | 第13-23页 |
| 2.1 力学参数的测试方法研究 | 第13-17页 |
| 2.1.1 微梁旋转法 | 第13-14页 |
| 2.1.2 纳米压痕法 | 第14-15页 |
| 2.1.3 静电吸合法 | 第15-16页 |
| 2.1.4 谐振频率法 | 第16-17页 |
| 2.2 压电系数的测试方法研究 | 第17-21页 |
| 2.2.1 气腔压力法 | 第17-18页 |
| 2.2.2 正向压力法 | 第18-19页 |
| 2.2.3 传统阻抗分析法 | 第19-20页 |
| 2.2.4 悬臂梁法 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 多晶硅薄膜力学参数的在线提取方法研究 | 第23-39页 |
| 3.1 多层薄膜梁理论模型 | 第23-26页 |
| 3.2 基于欧拉-伯努利梁结构的谐振模型 | 第26-31页 |
| 3.3 基于铁木辛柯梁结构的谐振模型 | 第31-35页 |
| 3.4 谐振频率法在线提取多层悬臂梁薄膜材料的杨氏模量 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 压电薄膜特性参数的在线提取方法研究 | 第39-49页 |
| 4.1 压电效应简介 | 第39-41页 |
| 4.2 多层薄膜悬臂梁压电模型(能量法) | 第41-43页 |
| 4.3 多层薄膜悬臂梁压电模型(力平衡法) | 第43-47页 |
| 4.4 在线提取多层悬臂梁压电薄膜特性参数 | 第47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 MEMS材料参数提取计算软件模块的设计 | 第49-59页 |
| 5.1 牛顿迭代法 | 第49-50页 |
| 5.2 基于欧拉-伯努利梁结构的谐振模型的软件设计 | 第50-54页 |
| 5.2.1 基于多层悬臂梁结构的谐振模型的软件设计 | 第50-52页 |
| 5.2.2 基于多层双端固支梁结构的谐振模型的软件设计 | 第52-54页 |
| 5.3 基于压电薄膜材料参数的软件设计 | 第54页 |
| 5.4 基于双端固支梁吸合电压模型的软件设计 | 第54-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 多层薄膜材料参数提取方法的仿真验证和在线测试 | 第59-81页 |
| 6.1 有限元仿真与验证 | 第59-66页 |
| 6.1.1 杨氏模量提取方法的有限元仿真及验证 | 第59-61页 |
| 6.1.2 压电系数的提取方法的有限元仿真及验证 | 第61-66页 |
| 6.2 杨氏模量测试实验 | 第66-75页 |
| 6.2.1 表面微加工工艺流程 | 第66-70页 |
| 6.2.2 版图设计与测试步骤 | 第70-72页 |
| 6.2.3 实验结果分析 | 第72-75页 |
| 6.3 压电系数测试实验 | 第75-80页 |
| 6.3.1 表面微加工工艺流程 | 第75-78页 |
| 6.3.2 版图设计与测试步骤 | 第78-80页 |
| 6.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第七章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 7.1 总结 | 第81-82页 |
| 7.2 展望 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 作者简介 | 第91页 |
