| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 铁电材料 | 第11-12页 |
| 1.3 铁电存储器的特点及应用前景 | 第12-13页 |
| 1.4 柔性透明铁电薄膜的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4.1 有机/聚合物柔性铁电薄膜的制备 | 第14-15页 |
| 1.4.2 氧化物柔性铁电薄膜的制备 | 第15-16页 |
| 1.5 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)铁电薄膜及存储器件研究进展 | 第16-18页 |
| 1.6 课题的目的和意义 | 第18-19页 |
| 2 铁电薄膜的制备工艺和表征手段 | 第19-28页 |
| 2.1 脉冲激光溅射沉积系统 | 第19-20页 |
| 2.2 磁控溅射镀膜技术 | 第20-21页 |
| 2.3 X射线衍射法 | 第21-22页 |
| 2.4 原子力显微镜 | 第22-24页 |
| 2.5 铁电测试系统 | 第24-28页 |
| 3 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性铁电存储器的制备和表征 | 第28-54页 |
| 3.1 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)靶材的制备 | 第28-30页 |
| 3.2 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性薄膜的制备 | 第30-36页 |
| 3.2.1 柔性透明云母衬底的制备和结构表征 | 第30-32页 |
| 3.2.2 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性薄膜的制备和结构表征 | 第32-36页 |
| 3.3 平整状态下Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器的铁电性能表征 | 第36-38页 |
| 3.4 弯曲状态下Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能表征 | 第38-45页 |
| 3.4.1 弯曲半径2.2mm下Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的表征 | 第39-41页 |
| 3.4.2 弯曲半径1.4 mm下Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的表征 | 第41-43页 |
| 3.4.3 弯曲次数对Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的影响 | 第43-45页 |
| 3.5 铁电极化翻转疲劳对Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的影响 | 第45-49页 |
| 3.5.1 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器在弯曲2.2mm状态下的铁电疲劳测试 | 第45-48页 |
| 3.5.2 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器在弯曲半径1.4 mm状态下的疲劳测试 | 第48-49页 |
| 3.6 温度、辐射对Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的影响 | 第49-52页 |
| 3.6.1 温度对Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的影响 | 第49-51页 |
| 3.6.2 辐射对Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)柔性存储器铁电性能的影响 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 4 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明铁电存储器的制备和表征 | 第54-69页 |
| 4.1 透明AZO电极的制备 | 第54-58页 |
| 4.1.1 AZO靶材的制备 | 第54-55页 |
| 4.1.2 AZO电极的制备 | 第55-58页 |
| 4.2 采用透明AZO底电极制备Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器 | 第58-60页 |
| 4.3 采用透明ITO底电极制备Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器 | 第60-64页 |
| 4.4 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器的性能表征 | 第64-69页 |
| 4.4.1 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器的介电性能 | 第64页 |
| 4.4.2 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器对外加电场频率的响应规律 | 第64-66页 |
| 4.4.3 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器在变温下的铁电性能 | 第66页 |
| 4.4.4 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器在光照辐射下的性能表征 | 第66-67页 |
| 4.4.5 Bi_(3.25)La(0.75)Ti_3O_(12)透明存储器弯曲性能研究 | 第67-69页 |
| 5 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 结论 | 第69页 |
| 5.2 展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录 | 第77页 |
