毫米尺寸石墨烯单晶及器件研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 二维材料石墨烯 | 第7-8页 |
| 1.2 石墨烯的物理性质 | 第8-13页 |
| 1.2.1 石墨烯的结构和电学特性 | 第8-11页 |
| 1.2.2 石墨烯量子霍尔效应 | 第11页 |
| 1.2.3 石墨烯光学特性 | 第11-12页 |
| 1.2.4 石墨烯力学特性 | 第12页 |
| 1.2.5 石墨烯热传导特性 | 第12-13页 |
| 1.3 石墨烯的制备方法 | 第13-14页 |
| 1.4 研究目的及主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 实验原理、设备及技术 | 第15-24页 |
| 2.1 CVD方法制备石墨烯原理 | 第15-16页 |
| 2.2 化学气相沉积设备和改进 | 第16-18页 |
| 2.3 拉曼光谱原理与技术 | 第18-20页 |
| 2.4 光学显微分析 | 第20-21页 |
| 2.5 扫描电子显微镜原理与技术 | 第21-23页 |
| 2.5.1 扫描电子显微镜(SEM)原理 | 第21页 |
| 2.5.2 环境扫描电子显微镜(ESEM) | 第21-23页 |
| 2.6 透射电镜 | 第23-24页 |
| 第3章 毫米尺寸石墨烯单晶 | 第24-34页 |
| 3.1 石墨烯单晶的制备方法 | 第24-25页 |
| 3.2 实验结果 | 第25-33页 |
| 3.2.1 回流CVD对石墨烯成核的影响 | 第25-28页 |
| 3.2.2 毫米尺寸石墨烯单晶的表征 | 第28-32页 |
| 3.2.3 毫米尺寸石墨烯单晶电学性能的测试 | 第32-33页 |
| 3.3 结果分析和讨论 | 第33-34页 |
| 第4章 单晶石墨烯器件研究 | 第34-39页 |
| 4.1 MoO3/石墨烯场效应管的制作方法 | 第34-35页 |
| 4.2 MoO3/石墨烯场效应管特性研究 | 第35-39页 |
| 第5章 结论与展望 | 第39-41页 |
| 5.1 结论 | 第39页 |
| 5.2 展望 | 第39-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第46页 |
