五阶高Q值高稳定数字加速度计接口电路设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 微机械加速度系统国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 国内外加速度计研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国内外加速度计接口电路研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 数字式加速度计工作原理 | 第16-24页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 电容式加速度计工作原理 | 第16-19页 |
| 2.3 前端检测电路原理 | 第19-20页 |
| 2.4 闭环力反馈原理 | 第20-22页 |
| 2.5 数字式接口电路原理 | 第22-23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 数字式加速度计系统级分析及设计 | 第24-45页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 敏感结构传递函数离散化 | 第24-26页 |
| 3.3 数字加速度系统噪声分析 | 第26-31页 |
| 3.4 数字加速度系统稳定性分析 | 第31-37页 |
| 3.5 高稳定的加速度计系统级设计 | 第37-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 数字式加速度计系统晶体管级设计 | 第45-64页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 机械结构等效电学模型 | 第45-46页 |
| 4.3 数字式接口电路设计 | 第46-60页 |
| 4.3.1 系统框图及时序分析 | 第46-47页 |
| 4.3.2 开关设计 | 第47-49页 |
| 4.3.3 前级电荷放大器设计 | 第49-52页 |
| 4.3.4 相位补偿器设计 | 第52-53页 |
| 4.3.5 积分器设计 | 第53-56页 |
| 4.3.6 量化器设计 | 第56-57页 |
| 4.3.7 时序控制电路设计 | 第57-60页 |
| 4.4 数字式加速度计系统晶体管级仿真 | 第60-62页 |
| 4.5 版图设计及后仿 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
