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扩散工艺制备TiNi薄膜和Ti/Ni扩散偶及Ti-Ni系互扩散行为的研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第13-30页
    1.1 形状记忆材料及形状记忆合金的发展历程第13-14页
        1.1.1 形状记忆材料第13页
        1.1.2 形状记忆材料的发展历程第13-14页
    1.2 TiNi形状记忆合金的相变及物理特性第14-22页
        1.2.1 TiNi形状记忆合金的相变第14-22页
        1.2.2 Ti-Ni基形状记忆合金基本特性第22页
    1.3 TiNi形状记忆合金的应用第22-25页
        1.3.1 TiNi形状记忆合金在工业工程上的应用第23-24页
        1.3.2 TiNi形状记忆合金在生物医学上的应用第24-25页
    1.4 Ti/Ni扩散偶的制备方法第25-27页
        1.4.1 铆钉法制备扩散偶第25-26页
        1.4.2 平板轧制法制备扩散偶第26页
        1.4.3 扩散焊接法制备扩散偶第26-27页
        1.4.4 沉积法制扩散偶第27页
    1.5 课题研究意义及内容第27-30页
第二章 实验材料及研究方法第30-37页
    2.1 Ti/Ni多层膜的真空热处理第30-33页
        2.1.1 实验材料第30页
        2.1.2 研究方法第30-33页
    2.2 纯Ti和纯Ni的热压扩散第33-37页
        2.2.1 原材料的准备第33页
        2.2.2 热压工艺过程第33-34页
        2.2.3 研究方法第34-37页
第三章 利用固相扩散制备均匀的TiNi薄膜第37-62页
    3.1 Ti/Ni薄膜互扩散前后的界面形貌第37-39页
        3.1.1 Ti/Ni薄膜扩散前的界面形貌第37页
        3.1.2 Ti/Ni薄膜扩散后的界面形貌第37-39页
    3.2 扩散时间和温度对Ti/Ni薄膜扩散的影响第39-50页
        3.2.1 不同扩散时间下Ti/Ni薄膜互扩散界面形貌第39-46页
        3.2.2 Ti/Ni互扩散化合物层的生长规律第46-48页
        3.2.3 扩散温度对Ti/Ni薄膜均匀化程度的影响第48-50页
    3.3 选择合适的参数制备均匀的TiNi薄膜及Ti/Ni互扩散均匀化过程的热力学分析第50-54页
        3.3.1 引言第50页
        3.3.2 通过扩散工艺制备TiNi薄膜第50-53页
        3.3.3 Ti/Ni互扩散均匀化过程的热力学分析第53-54页
    3.4 Ti/Ni互扩散过程中金属间化合物的生成顺序第54-61页
        3.4.1 引言第54-55页
        3.4.2 通过热力学计算分析TiNi3,TiNi和Ti2Ni的生成顺序第55-59页
        3.4.3 通过实验分析Ti/Ni扩散系中的化合物TiNi3,TiNi和Ti2Ni的生成顺序第59-61页
    3.5 本章小结第61-62页
第四章 采用热压扩散的方法制备Ti/Ni扩散偶第62-88页
    4.1 纯钛和纯镍试样的成分、性能及表面粗糙度分析第62-69页
        4.1.1 纯钛和纯镍试样的成分和性能分析第62-65页
        4.1.2 纯钛和纯镍试样的表面粗糙度分析第65-69页
    4.2 热压扩散初期Ti/Ni扩散界面的形貌分析第69-72页
        4.2.1 引言第69页
        4.2.2 扩散温度对初期Ti/Ni扩散界面形貌的影响第69-70页
        4.2.3 扩散时间对初期Ti/Ni扩散界面形貌的影响第70-72页
    4.3 纯钛和纯镍的表面粗糙对Ti/Ni热压互扩散的影响第72-81页
        4.3.1 热压扩散后扩散界面形貌分析以及初期界面扩散模型第72-74页
        4.3.2 热压扩散初期界面扩散模型第74-75页
        4.3.3 热压接头的性能以及断.的XRD结果的分析第75-78页
        4.3.4 热压断.的形貌分析第78-81页
    4.4 热压压强对Ti/Ni热压互扩散的影响第81-86页
        4.4.1 热压扩散后扩散界面形貌和成分析第81-83页
        4.4.2 不同压强下扩散界面的形貌分析第83-85页
        4.4.3 热压断面形貌分析第85-86页
    4.5 本章小结第86-88页
第五章 结论第88-89页
参考文献第89-98页
致谢第98-99页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文第99-101页

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