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Si基纳米薄膜光伏材料的制备、结构表征与光电特性

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-17页
    1.1 Si基薄膜光伏材料的研究进展第10-14页
        1.1.1 α-Si:H薄膜第10-11页
        1.1.2 μc-Si:H薄膜第11页
        1.1.3 pc-Si薄膜第11-12页
        1.1.4 nc-Si:H薄膜第12-13页
        1.1.5 多层Si量子点材料第13-14页
    1.2 本研究课题的科学意义第14页
    1.3 本研究课题的主要内容第14-17页
        1.3.1 nc-Si:H薄膜的制备与光电特性第15页
        1.3.2 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的制备及光电特性第15-17页
第2章 实验方法第17-25页
    2.1 材料制备第17-19页
        2.1.1 薄膜制备设备第17-18页
        2.1.2 衬底清洗第18页
        2.1.3 薄膜制备方法第18-19页
    2.2 测试方法第19-25页
        2.2.1 膜厚测量第19-20页
        2.2.2 薄膜表面形貌第20页
        2.2.3 多层膜剖面结构第20页
        2.2.4 原子键合特征第20-21页
        2.2.5 结晶取向第21页
        2.2.6 晶粒尺寸和晶化率第21-22页
        2.2.7 光吸收系数第22-23页
        2.2.8 光暗电导率第23-25页
第3章 nc-Si:H薄膜的制备、结构表征与光电特性第25-66页
    3.1 本征nc-Si:H薄膜第25-52页
        3.1.1 沉积速率第25-28页
        3.1.2 结构表征第28-43页
        3.1.3 电导率第43-45页
        3.1.4 光吸收特性第45-52页
    3.2 磷掺杂nc-Si:H薄膜第52-60页
        3.2.1 结构表征第53-58页
        3.2.2 电导率第58-59页
        3.2.3 光吸收特性第59-60页
    3.3 硼掺杂nc-Si:H薄膜第60-66页
        3.3.1 结构表征第60-64页
        3.3.2 电导率第64-65页
        3.3.3 光吸收特性第65-66页
第4章 α-Si C:H和 α-Si:H薄膜的结构表征与光电特性第66-76页
    4.1 α-Si C:H薄膜第66-70页
        4.1.1 沉积速率第66-67页
        4.1.2 晶化率第67页
        4.1.3 C含量第67-68页
        4.1.4 原子键合特征第68-69页
        4.1.5 光学带隙第69-70页
    4.2 α-Si:H薄膜第70-76页
        4.2.1 沉积速率第70-71页
        4.2.2 结晶取向第71-72页
        4.2.3 晶化率第72-73页
        4.2.4 原子键合特征第73-74页
        4.2.5 光学带隙第74-75页
        4.2.6 电导率第75-76页
第5章 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的制备与光电特性第76-93页
    5.1 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜制备第76-78页
        5.1.1 α-Si:H/α-Si C:H多层膜的制备第76页
        5.1.2 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的形成第76-78页
    5.2 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的结构表征第78-82页
        5.2.1 TEM测量第78-79页
        5.2.2 Raman谱分析第79-81页
        5.2.3 键合特征第81-82页
    5.3 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的光吸收特性第82-87页
        5.3.1 势阱层厚度的影响第83-85页
        5.3.2 势垒层厚度的影响第85页
        5.3.3 退火温度的影响第85-87页
    5.4 多层膜的垂直输运特性第87-93页
        5.4.1 α-Si:H/α-Si C:H多层膜的垂直输运特性第88-90页
        5.4.2 nc-Si:H/α-Si C:H多层膜的垂直输运特性第90-93页
第6章p-i-n型nc-Si:H薄膜太阳电池的制备与光伏性能第93-97页
    6.1 p-i-n型薄膜太阳电池的工作原理第93-94页
    6.2 p-i-n型nc-Si:H薄膜太阳电池的设计与制作第94-95页
    6.3 p-i-n型nc-Si:H薄膜太阳电池性能与i层厚度的关系第95-97页
第7章 结论第97-99页
参考文献第99-104页
致谢第104-105页
博士研究生在读期间发表的论文第105-106页

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