一类MEMS谐振器非线性动力学研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 字母注释表 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 微机械电子系统的基本概念和特征 | 第13-15页 |
| 1.3 微机械电子系统的发展史 | 第15-17页 |
| 1.4 微机械电子系统主要材料 | 第17-19页 |
| 1.5 微机械电子系统加工技术 | 第19-22页 |
| 1.6 本文主要工作 | 第22-23页 |
| 第二章 MEMS谐振器 | 第23-34页 |
| 2.1 MEMS谐振器概述 | 第23页 |
| 2.2 MEMS谐振器分类 | 第23-28页 |
| 2.3 MEMS谐振器主要应用 | 第28-31页 |
| 2.4 MEMS谐振器的主要性能参数 | 第31-32页 |
| 2.5 MEMS谐振器研究现状 | 第32-34页 |
| 第三章 MEMS谐振器阻尼机制分析 | 第34-46页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 内部能量耗散 | 第34-36页 |
| 3.3 外界能量耗散 | 第36-46页 |
| 第四章 MEMS谐振器非线性动力学分析 | 第46-58页 |
| 4.1 MEMS谐振器物理及数学模型 | 第46-48页 |
| 4.2 多尺度摄动分析 | 第48-50页 |
| 4.3 理论分析 | 第50-56页 |
| 4.4 分析与讨论 | 第56-57页 |
| 4.5 总结 | 第57-58页 |
| 第五章 MEMS谐振器数值仿真 | 第58-69页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 模态分析 | 第58-64页 |
| 5.3 MEMS谐振器的数值模拟 | 第64-68页 |
| 5.4 总结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 论文总结 | 第69-70页 |
| 6.2 论文展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
