溶胶—凝胶法制备Ⅰ-Ⅴ族元素共掺ZnO薄膜
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 薄膜材料简介 | 第8-12页 |
| 1.2.1 薄膜材料的定义和特点 | 第8-9页 |
| 1.2.2 薄膜材料的缺陷与研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.3 薄膜材料的发展前景 | 第11-12页 |
| 1.3 氧化锌综述 | 第12-17页 |
| 1.3.1 氧化锌的结构特征 | 第12-13页 |
| 1.3.2 氧化锌的光电及其他特性 | 第13-14页 |
| 1.3.3 氧化锌的缺陷与掺杂 | 第14-17页 |
| 1.4 本文的选题依据及主要内容 | 第17-18页 |
| 2 氧化锌薄膜的制备方式和表征 | 第18-30页 |
| 2.1 氧化锌薄膜的制备方式 | 第18-23页 |
| 2.1.1 真空蒸发镀膜 | 第18-20页 |
| 2.1.2 溅射法镀膜 | 第20-21页 |
| 2.1.3 化学气相沉积 | 第21页 |
| 2.1.4 溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| 2.1.5 其他制备方式 | 第22-23页 |
| 2.2 氧化锌薄膜表征方法 | 第23-30页 |
| 2.2.1 薄膜晶体结构表征 | 第24-25页 |
| 2.2.2 薄膜表面形貌表征 | 第25-27页 |
| 2.2.3 薄膜发光性能表征 | 第27-28页 |
| 2.2.4 薄膜透过性能表征 | 第28-30页 |
| 3 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备ZnO薄膜 | 第30-40页 |
| 3.1 溶胶-凝胶法简介 | 第30-33页 |
| 3.1.1 溶胶-凝胶法概念及原理 | 第30页 |
| 3.1.2 胶体制备过程 | 第30-31页 |
| 3.1.3 溶胶-凝胶法制膜工艺 | 第31-32页 |
| 3.1.4 溶胶-凝胶旋涂工艺特点 | 第32-33页 |
| 3.2 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的实验方案 | 第33-35页 |
| 3.2.1 实验药品与仪器 | 第33-34页 |
| 3.2.2 衬底的清洗 | 第34-35页 |
| 3.2.3 溶胶-凝胶旋涂法制备ZnO薄膜过程 | 第35页 |
| 3.3 不同预处理温度对ZnO薄膜结构的影响 | 第35-37页 |
| 3.4 过渡层数对ZnO薄膜结构的影响 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 Li、K与N元素共掺ZnO薄膜 | 第40-53页 |
| 4.1 Li-N共掺ZnO薄膜表征 | 第40-46页 |
| 4.1.1 Li-N共掺ZnO薄膜的结构分析 | 第40-42页 |
| 4.1.2 Li-N共掺ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第42-44页 |
| 4.1.3 Li-N共掺ZnO薄膜的发光性能分析 | 第44-45页 |
| 4.1.4 Li-N共掺ZnO薄膜的透过率分析 | 第45-46页 |
| 4.2 K-N共掺ZnO薄膜表征 | 第46-52页 |
| 4.2.1 K-N共掺ZnO薄膜的结构分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 K-N共掺ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第48-49页 |
| 4.2.3 K-N共掺ZnO薄膜的发光性能分析 | 第49-51页 |
| 4.2.4 K-N共掺ZnO薄膜的透过率分析 | 第51-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
