| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 表面技术概述 | 第8-10页 |
| 1.2.1 表面技术的定义 | 第8-9页 |
| 1.2.2 表面技术的分类 | 第9页 |
| 1.2.3 薄膜技术的介绍 | 第9-10页 |
| 1.3 类金刚石薄膜概述 | 第10-14页 |
| 1.3.1 类金刚石薄膜的结构 | 第10-11页 |
| 1.3.2 类金刚石薄膜的性质 | 第11-13页 |
| 1.3.3 类金刚石薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.5 类金刚石薄膜的摩擦性能 | 第16-21页 |
| 1.5.1 类金刚石薄膜的摩擦机理 | 第16-17页 |
| 1.5.2 磨损机制概述 | 第17-18页 |
| 1.5.3 影响类金刚石薄摩擦磨损的因素 | 第18页 |
| 1.5.4 类金刚石薄膜的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.6 本文研究内容与目的 | 第21-23页 |
| 第2章 试验材料及方法 | 第23-33页 |
| 2.1 实验设备及样品准备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.1.2 样品准备 | 第24页 |
| 2.2 研究方案及制备工艺 | 第24-28页 |
| 2.2.1 单层膜的制备工艺方案 | 第24-26页 |
| 2.2.2 多层膜的制备工艺方案 | 第26页 |
| 2.2.3 Cr 过渡层的制备工艺方案 | 第26-27页 |
| 2.2.4 Cr/DLC 薄膜的制备工艺方案 | 第27-28页 |
| 2.3 分析方法 | 第28-33页 |
| 2.3.1 薄膜厚度测试 | 第28页 |
| 2.3.2 薄膜承载能力分析 | 第28-29页 |
| 2.3.3 薄膜脆性测试 | 第29页 |
| 2.3.4 试样尺寸测量 | 第29页 |
| 2.3.5 薄膜与基体结合力分析 | 第29-30页 |
| 2.3.6 薄膜耐磨性能评价 | 第30-31页 |
| 2.3.7 薄膜结构分析 | 第31-32页 |
| 2.3.8 薄膜物相分析 | 第32-33页 |
| 第3章 单层类金刚石薄膜的制备及性能研究 | 第33-41页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 工艺参数对单层 DLC 薄膜性能的影响 | 第33-37页 |
| 3.2.1 工艺参数对单层 DLC 薄膜硬度的影响 | 第33-36页 |
| 3.2.2 工艺参数对单层 DLC 薄膜脆性的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 工艺参数对单层 DLC 薄膜结构的影响 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 W/DLC 多层膜的制备及性能研究 | 第41-52页 |
| 4.1 引言 | 第41-42页 |
| 4.2 工艺参数对薄膜性能的影响 | 第42-50页 |
| 4.2.1 工艺参数对 W/DLC 多层膜硬度的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.2 工艺参数对 W/DLC 多层膜脆性的影响 | 第43-45页 |
| 4.2.3 工艺参数对 W/DLC 多层膜与基体结合力的影响 | 第45-50页 |
| 4.3 W/DLC 多层膜组织与结构分析 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 Cr 过渡层的制备及性能研究 | 第52-58页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜性能的影响 | 第52-55页 |
| 5.2.1 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜硬度的影响 | 第52-54页 |
| 5.2.2 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜结合力的影响 | 第54-55页 |
| 5.3 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜组织结构的影响 | 第55-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 Cr/DLC 薄膜的制备及性能研究 | 第58-74页 |
| 6.1 引言 | 第58页 |
| 6.2 工艺参数对试样薄膜沉积前后的尺寸影响 | 第58-59页 |
| 6.3 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜性能的影响 | 第59-70页 |
| 6.3.1 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜纳米硬度的影响 | 第59-60页 |
| 6.3.2 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜与基体结合力的影响 | 第60-63页 |
| 6.3.4 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第63-70页 |
| 6.4 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜组织结构的影响 | 第70-73页 |
| 6.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
