| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 符号说明 | 第14-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-36页 |
| 1.1 铝材的特点 | 第15-16页 |
| 1.2 铝材阳极氧化 | 第16-19页 |
| 1.3 铝材阳极氧化传统封闭工艺 | 第19-24页 |
| 1.3.1 热封孔 | 第20-21页 |
| 1.3.2 冷封孔 | 第21-23页 |
| 1.3.3 中温封孔 | 第23-24页 |
| 1.4 新型封孔工艺 | 第24-27页 |
| 1.4.1 新型中温封孔 | 第24页 |
| 1.4.2 有机物封孔 | 第24-25页 |
| 1.4.3 稀土盐封孔 | 第25页 |
| 1.4.4 溶胶法封闭 | 第25-26页 |
| 1.4.5 原子层淀积封孔 | 第26页 |
| 1.4.6 其他封闭工艺 | 第26-27页 |
| 1.5 原子层淀积技术 | 第27-32页 |
| 1.5.1 原子层淀积技术基本原理 | 第27-29页 |
| 1.5.2 原子层淀积技术特点及与CVD的比较 | 第29-30页 |
| 1.5.3 原子层淀积技术发展前景 | 第30-31页 |
| 1.5.4 原子层淀积技术生长Al_2O_3薄膜 | 第31-32页 |
| 1.5.5 原子层淀积技术生长TiO_2薄膜 | 第32页 |
| 1.6 薄膜性质的表征方法 | 第32-34页 |
| 1.6.1 晶体成分测试分析 | 第32-33页 |
| 1.6.2 薄膜表面形貌测试分析 | 第33-34页 |
| 1.6.3 抗染色能力 | 第34页 |
| 1.6.4 抗酸蚀能力分析 | 第34页 |
| 1.7 选题意义及研究内容 | 第34-36页 |
| 第2章 试验样品制备与表征 | 第36-43页 |
| 2.1 阳极氧化试验 | 第36-37页 |
| 2.2 原子层淀积试验过程 | 第37-38页 |
| 2.3 多孔阳极氧化铝原子层淀积孔径改变过程 | 第38-39页 |
| 2.3.1 原子层淀积Al_2O_3膜层孔径改变过程 | 第38-39页 |
| 2.3.2 原子层淀积TiO_2膜层孔径改变过程 | 第39页 |
| 2.4 多孔阳极氧化铝原子层淀积封孔膜层淀积过程 | 第39-42页 |
| 2.4.1 原子层淀积Al_2O_3膜层封孔 | 第39-40页 |
| 2.4.2 原子层淀积TiO_2膜层封孔 | 第40-41页 |
| 2.4.3 原子层淀积Al_2O_3/TiO_2叠层封孔 | 第41-42页 |
| 2.5 性能及形貌表征 | 第42-43页 |
| 第3章 实验结果及分析 | 第43-65页 |
| 3.1 多孔型阳极氧化膜制备及分析 | 第43-45页 |
| 3.1.1 多孔型阳极氧化膜制备过程分析 | 第43-44页 |
| 3.1.2 多孔阳极氧化铝形貌分析 | 第44-45页 |
| 3.1.3 小结 | 第45页 |
| 3.2 原子层淀积氧化物膜层分析 | 第45-50页 |
| 3.2.1 原子层淀积氧化铝 | 第45-47页 |
| 3.2.2 原子层淀积生长氧化钛 | 第47-50页 |
| 3.2.3 小结 | 第50页 |
| 3.3 薄膜淀积孔径改变过程及分析 | 第50-58页 |
| 3.3.1 Al_2O_3膜层淀积速率及孔径改变过程 | 第50-54页 |
| 3.3.2 TiO_2膜层淀积孔径改变过程 | 第54-56页 |
| 3.3.3 小结 | 第56-58页 |
| 3.4 抗染色能力 | 第58-59页 |
| 3.4.1 封孔过程抗染色试验结果与分析 | 第58-59页 |
| 3.4.2 小结 | 第59页 |
| 3.5 抗酸腐蚀性能 | 第59-65页 |
| 3.5.1 Al_2O_3封孔样品酸性点滴测试结果及分析 | 第60-61页 |
| 3.5.2 TiO_2封孔样品酸性点滴测试结果及分析 | 第61-62页 |
| 3.5.3 Al_2O_3/TiO_2叠层封孔样品酸性点滴测试结果及分析 | 第62-63页 |
| 3.5.4 小结 | 第63-65页 |
| 第4章 结论及展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第75页 |
