光学曲面在线测量系统误差分析与实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光学曲面测量方法国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 接触式测量 | 第11-12页 |
| 1.2.2 非接触式测量 | 第12-15页 |
| 1.3 在线测量发展现状 | 第15-16页 |
| 1.4 课题来源和主要研究内容 | 第16-18页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 面型测量及在线测量系统搭建 | 第18-28页 |
| 2.1 光学曲面元件 | 第18-20页 |
| 2.2 在线测量系统测量的基本方法和原理 | 第20-21页 |
| 2.3 面型评定主要参数 | 第21-22页 |
| 2.4 光学曲面在线测量系统搭建 | 第22-27页 |
| 2.4.1 测量系统的组成 | 第23-25页 |
| 2.4.2 电主轴系统 | 第25页 |
| 2.4.3 卧式旋转台系统 | 第25-26页 |
| 2.4.4 气浮直线导轨 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 在线测量系统误差分析 | 第28-48页 |
| 3.1 测量系统误差分析 | 第28-30页 |
| 3.1.1 误差分类 | 第28-30页 |
| 3.1.2 误差来源 | 第30页 |
| 3.2 在线测量系统误差模型 | 第30-36页 |
| 3.2.1 工件安装倾斜误差模型 | 第31-32页 |
| 3.2.2 测头半径误差模型 | 第32-33页 |
| 3.2.3 对心误差模型 | 第33-35页 |
| 3.2.4 校正误差模型 | 第35-36页 |
| 3.3 测量数据处理 | 第36-41页 |
| 3.3.1 工件安装倾斜误差处理 | 第36-37页 |
| 3.3.2 误差的分离 | 第37-38页 |
| 3.3.3 单次测量粗大误差剔除 | 第38-39页 |
| 3.3.4 测头半径补偿 | 第39-41页 |
| 3.4 测量数据拟合 | 第41-47页 |
| 3.4.1 最小二乘法多项式拟合 | 第41-44页 |
| 3.4.2 非均匀有理 B 样条拟合 | 第44-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 系统精度标定与球面测量实验 | 第48-60页 |
| 4.1 在线测量系统精度标定 | 第48-57页 |
| 4.1.1 单点重复测量精度 | 第49-51页 |
| 4.1.2 测头偏转角对测量精度的影响 | 第51-53页 |
| 4.1.3 X 轴重复定位精度标定 | 第53-56页 |
| 4.1.4 工件安装倾斜误差的去除 | 第56-57页 |
| 4.2 球面测量实验 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
