| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.2 Ni-Mn-ln磁性形状记忆合金的晶体结构与相变 | 第11-14页 |
| 1.2.1 Ni-Mn-ln合金的晶体结构 | 第11-13页 |
| 1.2.2 Ni-Mn-In合金的磁场诱发马氏体转变 | 第13-14页 |
| 1.3 Ni-Mn-In-Co磁性形状记忆合金薄膜的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 选题意义及主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验材料及方法 | 第17-20页 |
| 2.1 材料的制备与晶化处理 | 第17-18页 |
| 2.2 组织结构分析 | 第18-19页 |
| 2.3 磁学性能测试 | 第19-20页 |
| 第3章 Ni-Mn-In-Co合金薄膜的制备 | 第20-32页 |
| 3.1 引言 | 第20页 |
| 3.2 薄膜的表面形貌 | 第20-22页 |
| 3.3 薄膜的颗粒尺寸 | 第22-26页 |
| 3.4 薄膜的表面粗糙度与膜厚 | 第26-29页 |
| 3.5 薄膜的化学成分 | 第29-31页 |
| 3.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 Ni-Mn-In-Co合金薄膜的晶化行为与磁学性能 | 第32-39页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 薄膜的晶化行为 | 第32-35页 |
| 4.3 薄膜的磁学性能 | 第35-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 磁控溅射制备薄膜与基底的分离技术 | 第39-44页 |
| 5.1 引言 | 第39页 |
| 5.2 水溶性衬底制备Ni-Mn-In-Co无约束薄膜 | 第39-41页 |
| 5.3 利用湿法刻蚀原理制备Ni-Mn-In-Co无约束薄膜 | 第41-42页 |
| 5.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
