| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-28页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 表面三维微观轮廓光学测量技术发展及研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 基于白光干涉法的表面三维微观轮廓测量技术的研究现状 | 第19-26页 |
| 1.3.1 白光干涉条纹的峰值解调和解包络峰值算法 | 第20-22页 |
| 1.3.2 微位移驱动器的精确定位控制 | 第22-24页 |
| 1.3.3 表面三维微观轮廓信号的滤波 | 第24-25页 |
| 1.3.4 三维表面粗糙度的评定 | 第25-26页 |
| 1.4 课题研究的主要内容 | 第26-28页 |
| 第2章 表面三维微观轮廓的解调算法 | 第28-53页 |
| 2.1 表面三维微观轮廓的测量原理 | 第28-33页 |
| 2.1.1 白光干涉原理 | 第28-30页 |
| 2.1.2 白光干涉的特性 | 第30-31页 |
| 2.1.3 表面三维微观轮廓测量原理 | 第31-33页 |
| 2.2 白光干涉零级条纹的峰值求解方法 | 第33-36页 |
| 2.3 数字滤波和二次曲线拟合算法 | 第36-40页 |
| 2.4 高斯滤波器在包络线解调中的应用 | 第40-51页 |
| 2.4.1 高斯滤波器的特性 | 第40-44页 |
| 2.4.2 高斯滤波器的逼近算法 | 第44-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章 微位移驱动器及其控制 | 第53-73页 |
| 3.1 压电陶瓷的特性 | 第53-56页 |
| 3.1.1 迟滞特性 | 第53-54页 |
| 3.1.2 非线性特征 | 第54-55页 |
| 3.1.3 蠕变特性 | 第55页 |
| 3.1.4 温度特性 | 第55页 |
| 3.1.5 刚度特性 | 第55-56页 |
| 3.1.6 压电陶瓷误差分析 | 第56页 |
| 3.2 微位移驱动器的驱动电源设计 | 第56-65页 |
| 3.2.1 微位移驱动器系统结构 | 第56-57页 |
| 3.2.2 微位移驱动器驱动电源设计 | 第57页 |
| 3.2.3 D/A 转换电路设计 | 第57-58页 |
| 3.2.4 功率放大电路与电压跟随电路设计 | 第58-60页 |
| 3.2.5 电压跟随电路设计 | 第60页 |
| 3.2.6 快速放电电路设计 | 第60-61页 |
| 3.2.7 微位移检测系统的设计 | 第61-65页 |
| 3.3 微位移驱动器控制策略 | 第65-68页 |
| 3.3.1 PID 闭环控制策略 | 第65-67页 |
| 3.3.2 电压蠕变模型 | 第67页 |
| 3.3.3 基于蠕变补偿的控制策略 | 第67-68页 |
| 3.4 实验结果 | 第68-71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 第4章 高斯逼近滤波器在粗糙度测量中的应用 | 第73-89页 |
| 4.1 高斯滤波器的 B 样条函数逼近算法 | 第73-79页 |
| 4.1.1 三次样条函数 | 第73-74页 |
| 4.1.2 平滑样条滤波器 | 第74-77页 |
| 4.1.3 中心极限定理 | 第77页 |
| 4.1.4 高斯滤波器 B 样条函数逼近算法 | 第77-79页 |
| 4.2 高斯滤波器在粗糙度测量中的应用 | 第79-82页 |
| 4.2.1 二维高斯滤波器的分离特性 | 第79-80页 |
| 4.2.2 建立表面三维微观轮廓基准面的方法 | 第80-81页 |
| 4.2.3 仿真实验 | 第81-82页 |
| 4.3 表面粗糙度测量 | 第82-88页 |
| 4.3.1 粗糙度评定参数 | 第82-86页 |
| 4.3.2 仿真实验 | 第86-88页 |
| 4.4 本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 实验验证及粗糙度评定 | 第89-104页 |
| 5.1 测量系统组成 | 第89页 |
| 5.2 三维微观轮廓测量过程及数据处理 | 第89-92页 |
| 5.3 三维微观轮廓图像的预处理 | 第92-95页 |
| 5.4 测量系统的精度检测 | 第95-99页 |
| 5.5 实验结果及粗糙度参数评定 | 第99-103页 |
| 5.6 本章小结 | 第103-104页 |
| 结论 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 附录 | 第116页 |
