基于流体动力学的原子层沉积工艺优化与实验验证
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-32页 |
| 1.1 原子层沉积的应用背景 | 第10-12页 |
| 1.2 原子层沉积技术概述 | 第12-15页 |
| 1.3 原子层沉积国内外研究概况 | 第15-28页 |
| 1.4 原子层沉积技术发展存在的问题 | 第28页 |
| 1.5 本文的主要研究内容、技术路线及章节安排 | 第28-32页 |
| 2 原子层沉积过程的建模理论和方法 | 第32-45页 |
| 2.1 引言 | 第32页 |
| 2.2 耦合气相反应的流体动力学模型 | 第32-36页 |
| 2.3 原子层沉积流体动力学建模方案 | 第36-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 3 原子层沉积的集成系统及其定量实验 | 第45-58页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 集成式原子层沉积系统特征 | 第45-51页 |
| 3.3 原子层沉积的定量生长实验 | 第51-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 时间隔离原子层沉积系统建模和工艺优化 | 第58-70页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 时间隔离原子层沉积系统建模 | 第58-60页 |
| 4.3 时间隔离原子层沉积工艺优化分析 | 第60-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 5 空间隔离原子层沉积系统建模和工艺优化 | 第70-81页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 空间隔离原子层沉积系统 | 第70-73页 |
| 5.3 空间隔离原子层沉积工艺优化分析 | 第73-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 粉末流化工艺建模 | 第81-93页 |
| 6.1 引言 | 第81页 |
| 6.2 微纳米颗粒多相流工艺建模 | 第81-85页 |
| 6.3 基于多相流模型的工艺优化分析 | 第85-92页 |
| 6.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 7 全文总结与工作展望 | 第93-96页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第93-95页 |
| 7.2 研究展望 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-109页 |
| 附录 攻读博士学位期间的主要成果 | 第109-110页 |
