| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 表面技术和涂层的发展 | 第9-10页 |
| 1.2.1 表面技术发展历史 | 第9页 |
| 1.2.2 涂层发展历史 | 第9-10页 |
| 1.3 纳米复合涂层 | 第10-14页 |
| 1.3.1 纳米复合涂层的研究 | 第10-12页 |
| 1.3.2 纳米复合涂层的工艺方法 | 第12-13页 |
| 1.3.3 纳米复合涂层的致硬机理 | 第13-14页 |
| 1.4 纳米多层涂层 | 第14-15页 |
| 1.4.1 纳米多层涂层的研究 | 第14页 |
| 1.4.2 纳米多层涂层的超硬机理 | 第14-15页 |
| 1.5 选题意义与研究内容 | 第15-18页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第15-16页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 涂层的制备与表征 | 第18-22页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 涂层的制备方法与实验设备 | 第18-20页 |
| 2.2.1 涂层制备的基本原理 | 第18-19页 |
| 2.2.2 涂层制备设备 | 第19页 |
| 2.2.3 镀涂层基片的处理方法 | 第19-20页 |
| 2.3 涂层的表征方法和检测设备 | 第20-22页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜（SEM） | 第20页 |
| 2.3.2 透射电子显微镜（TEM） | 第20页 |
| 2.3.3 能量色散谱仪（EDS） | 第20页 |
| 2.3.4 X射线衍射（XRD） | 第20-21页 |
| 2.3.5 X射线光电子谱（XPS） | 第21页 |
| 2.3.6 纳米力学测试系统 | 第21-22页 |
| 2.3.7 摩擦磨损试验机 | 第21-22页 |
| 第3章 AlN和WN涂层的微结构及性能研究 | 第22-34页 |
| 3.1 AlN涂层的微结构及性能研究 | 第22-27页 |
| 3.1.1 引言 | 第22页 |
| 3.1.2 涂层制备及表征 | 第22-23页 |
| 3.1.3 结果与讨论 | 第23-27页 |
| 3.2 WN涂层微结构及性能研究 | 第27-33页 |
| 3.2.1 实验方法 | 第28-29页 |
| 3.2.2 结果与讨论 | 第29-33页 |
| 3.3 本章结论 | 第33-34页 |
| 第4章W-Al-N复合涂层的微结构和高温抗氧化性能 | 第34-44页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 涂层制备与表征 | 第34-35页 |
| 4.2.1 涂层制备 | 第34-35页 |
| 4.2.2 涂层表征 | 第35页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第35-42页 |
| 4.3.1 成分与微结构 | 第35-39页 |
| 4.3.2 抗氧化性能 | 第39-42页 |
| 4.4 结论 | 第42-44页 |
| 第5章 AlCN/WN多层涂层结构和性能研究 | 第44-52页 |
| 5.1 引言 | 第44页 |
| 5.2 涂层制备与表征 | 第44-45页 |
| 5.2.1 涂层制备 | 第44-45页 |
| 5.2.2 涂层表征 | 第45页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第45-49页 |
| 5.3.1 微结构 | 第45-46页 |
| 5.3.2 力学性能 | 第46-48页 |
| 5.3.3 高温摩擦磨损性能 | 第48-49页 |
| 5.4 结论 | 第49-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 发表论文及科研情况说明 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |