液动压悬浮抛光平台设计及初步试验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 前言 | 第10页 |
| 1.2 超光滑表面加工技术 | 第10-17页 |
| 1.2.1 接触式抛光 | 第11-12页 |
| 1.2.2 非接触式抛光 | 第12-17页 |
| 1.3 本文研究内容及技术路线 | 第17-20页 |
| 1.3.1 课题来源与本文主要内容 | 第17页 |
| 1.3.2 本文研究的技术路线 | 第17-20页 |
| 第2章 液动压悬浮抛光平台的设计 | 第20-30页 |
| 2.1 抛光平台的设计要求 | 第20-21页 |
| 2.2 抛光平台的设计方案 | 第21页 |
| 2.3 抛光平台的结构设计 | 第21-29页 |
| 2.3.1 驱动系统的设计 | 第21-23页 |
| 2.3.2 升降系统的设计 | 第23-24页 |
| 2.3.3 检测系统的设计 | 第24-28页 |
| 2.3.4 主轴系统的设计 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 液动压悬浮抛光平台的动态特性分析 | 第30-42页 |
| 3.1 有限元分析概述 | 第30-31页 |
| 3.1.1 有限元分析方法及理论 | 第30-31页 |
| 3.1.2 Workbench软件简介 | 第31页 |
| 3.2 抛光平台的计算模态分析 | 第31-37页 |
| 3.2.1 计算模态理论 | 第31-32页 |
| 3.2.2 有限元模型 | 第32-33页 |
| 3.2.3 抛光平台的计算模态分析 | 第33-37页 |
| 3.3 抛光平台的谐响应分析 | 第37-41页 |
| 3.3.1 谐响应理论 | 第37-38页 |
| 3.3.2 抛光盘谐响应分析 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 液动压悬浮抛光平台的性能测试试验 | 第42-52页 |
| 4.1 抛光平台的试验模态分析 | 第42-46页 |
| 4.1.1 试验模态激励的选择 | 第42页 |
| 4.1.2 试验模态测试系统组成 | 第42-44页 |
| 4.1.3 试验模态识别方法 | 第44页 |
| 4.1.4 试验模态分析 | 第44-46页 |
| 4.2 抛光平台的运行参数测试 | 第46-51页 |
| 4.2.1 正交实验因素选取 | 第46-47页 |
| 4.2.2 正交实验 | 第47-48页 |
| 4.2.3 极差分析与方差分析 | 第48-50页 |
| 4.2.4 单因素实验 | 第50-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 液动压悬浮抛光试样制备及其表征 | 第52-62页 |
| 5.1 超光滑表面试样制备 | 第52-55页 |
| 5.1.1 前期试样的制备 | 第52-54页 |
| 5.1.2 超光滑表面试样的制备 | 第54-55页 |
| 5.2 超光滑表面试样表征 | 第55-61页 |
| 5.2.1 Wyko白光干涉仪测试分析 | 第55-57页 |
| 5.2.2 SEM测试分析 | 第57-60页 |
| 5.2.3 TEM测试分析 | 第60-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62页 |
| 6.2 创新点 | 第62页 |
| 6.3 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第70页 |
