| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 波导的分类及研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 波导的分类 | 第10-12页 |
| 1.2.2 波导的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 光栅的分类及研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 本文的主要研究内容及各章节安排 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的主要创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 LiNbO_3波导及光栅的理论基础 | 第18-30页 |
| 2.1 LiNbO_3晶体简介 | 第18-19页 |
| 2.2 介质平板波导的理论分析 | 第19-22页 |
| 2.2.1 菲涅尔公式和全反射相移 | 第19-21页 |
| 2.2.2 平板波导的射线传播理论 | 第21-22页 |
| 2.3 条形波导的有效折射率法 | 第22-25页 |
| 2.4 波导光栅的理论基础 | 第25-29页 |
| 2.4.1 周期波导的等效多层膜 | 第25-26页 |
| 2.4.2 转移矩阵理论 | 第26-27页 |
| 2.4.3 周期波导的光栅特性 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 钛扩散LiNbO_3单模波导的设计及实验制备 | 第30-44页 |
| 3.1 钛扩散LiNbO_3单模波导的设计 | 第30-32页 |
| 3.2 钛扩散LiNbO_3波导的实验制备 | 第32-38页 |
| 3.2.1 光刻 | 第32-35页 |
| 3.2.2 镀膜 | 第35-36页 |
| 3.2.3 剥离 | 第36页 |
| 3.2.4 高温扩散 | 第36-37页 |
| 3.2.5 抛光 | 第37-38页 |
| 3.3 钛扩散LiNbO_3波导的光学表征 | 第38-43页 |
| 3.3.1 有效折射率的测量 | 第38-40页 |
| 3.3.2 波导模场的测量 | 第40-42页 |
| 3.3.3 波导损耗的测量 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 晶片与光刻胶温度差对波导损耗影响的研究 | 第44-51页 |
| 4.1 LiNbO_3波导损耗的理论分析 | 第44-46页 |
| 4.1.1 损耗型介质的复折射率和复介电常数 | 第44-45页 |
| 4.1.2 损耗型波导的复有效折射率和复传播常数 | 第45-46页 |
| 4.2 波导损耗与波导尺寸关系的仿真分析 | 第46-48页 |
| 4.2.1 仿真模型的设计 | 第46-47页 |
| 4.2.2 仿真结果与分析 | 第47-48页 |
| 4.3 不同温度差下波导损耗的实验研究 | 第48-50页 |
| 4.3.1 不同温度差下波导的尺寸 | 第48-49页 |
| 4.3.2 不同温度差下波导的损耗 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 钛扩散LiNbO_3波导光栅的实验方案设计 | 第51-60页 |
| 5.1 光刻胶光栅的实验制备方案 | 第51-55页 |
| 5.2 一次钛扩散法制备波导光栅的实验方案 | 第55-57页 |
| 5.2.1 紫外光刻法 | 第55-56页 |
| 5.2.2 直写+紫外光刻法 | 第56-57页 |
| 5.3 二次钛扩散法制备波导光栅的实验方案 | 第57-58页 |
| 5.4 不同实验方案的对比分析 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第60-61页 |
| 6.2 前景展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |