穆勒矩阵椭偏仪变角机构设计与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外椭偏仪研究现状 | 第9-11页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 穆勒矩阵椭偏仪变角机构结构设计 | 第13-27页 |
| 2.1 椭偏仪测量原理 | 第13-14页 |
| 2.2 现有产品概述 | 第14-19页 |
| 2.3 变角机构设计方案 | 第19-23页 |
| 2.4 电机选择 | 第23-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 变角机构运动仿真分析 | 第27-38页 |
| 3.1 引言 | 第27-28页 |
| 3.2 仿真模型创建 | 第28-29页 |
| 3.3 变角机构运动学仿真 | 第29-34页 |
| 3.4 变角机构动态仿真 | 第34-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 变角机构有限元分析 | 第38-49页 |
| 4.1 概述 | 第38页 |
| 4.2 结构静力学分析 | 第38-41页 |
| 4.3 结果分析 | 第41-43页 |
| 4.4 模态分析 | 第43-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 变角机构装配与测试 | 第49-57页 |
| 5.1 整体装配与调试 | 第49-51页 |
| 5.2 角度性能测试 | 第51-54页 |
| 5.3 误差分析 | 第54-55页 |
| 5.4 误差补偿措施 | 第55-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
