| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 AFM机械刻划方式在聚合物表面加工的研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 AFM机械刻划方式在聚合物表面加工的实验研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 AFM敲击模式下的模拟仿真研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 AFM敲击模式的模拟仿真分析 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 AFM敲击模式的模型建立 | 第16-19页 |
| 2.3 AFM敲击过程的仿真结果与分析 | 第19-27页 |
| 2.3.1 激励振幅对探针与样品之间作用力的影响 | 第19-20页 |
| 2.3.2 针尖半径对探针与样品之间作用力的影响 | 第20-23页 |
| 2.3.3 激励频率对探针与样品之间作用力的影响 | 第23-24页 |
| 2.3.4 探针与样品间的初始间距对探针与样品之间作用力的影响 | 第24-25页 |
| 2.3.5 悬臂刚度对探针与样品之间作用力的影响 | 第25-26页 |
| 2.3.6 样品弹性模量对探针与样品之间作用力的影响 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 AFM敲击模式加工聚合物样品表面凸起结构的机理研究 | 第29-40页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验装置与加工路径设置 | 第29-30页 |
| 3.2.1 实验装置及样品 | 第29-30页 |
| 3.2.2 加工路径设置 | 第30页 |
| 3.3 加工结果模拟仿真 | 第30-33页 |
| 3.3.1 模拟方法及过程 | 第30-31页 |
| 3.3.2 模拟结果及分析 | 第31-33页 |
| 3.4 实验结果分析 | 第33-38页 |
| 3.5 在其它聚合物表面的凸起现象 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 AFM敲击模式下聚合物表面微结构加工工艺研究 | 第40-57页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 敲击模式下纳米加工实验过程 | 第40-41页 |
| 4.2.1 实验装置及样品 | 第40页 |
| 4.2.2 敲击模式加工实验步骤 | 第40-41页 |
| 4.3 AFM敲击模式下加工路径编辑 | 第41-44页 |
| 4.3.1 AFM探针路径编辑方法 | 第41-42页 |
| 4.3.2 复杂探针运动路径编程原理 | 第42-44页 |
| 4.4 AFM敲击模式下在PMMA样品表面加工工艺实验分析 | 第44-52页 |
| 4.4.1 加工速度对加工结果的影响 | 第44-46页 |
| 4.4.2 悬臂上所施加激励电压对加工结果的影响 | 第46-50页 |
| 4.4.3 探针步进对加工结果的影响 | 第50-52页 |
| 4.5 规则结构纳米加工实例 | 第52-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
