| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 BST材料简介 | 第12-15页 |
| 1.2.1 BST的结构组成与性质 | 第12页 |
| 1.2.2 BST粉末的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2.3 纳米尺度BST粉末的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 TiO_2材料简介 | 第15-17页 |
| 1.3.1 TiO_2的结构组成与性质 | 第15-16页 |
| 1.3.2 TiO_2薄膜的制备 | 第16-17页 |
| 1.3.3 TiO_2薄膜气敏的研究现状 | 第17页 |
| 1.4 氢气传感器 | 第17-19页 |
| 1.4.1 氢气传感器简介 | 第17-18页 |
| 1.4.2 氢气传感器检测机理 | 第18-19页 |
| 1.4.3 氢气传感器目前的问题及发展方向 | 第19页 |
| 1.5 本课题研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 1.5.1 超细BST纳米颗粒的制备及分散性能的研究 | 第20页 |
| 1.5.2 BST修饰TiO_2薄膜的制备及气敏性能的研究 | 第20-21页 |
| 第二章 水热法制备纳米尺度BST粉末 | 第21-29页 |
| 2.1 水热法简介 | 第21页 |
| 2.2 实验试剂及设备 | 第21-22页 |
| 2.3 制备步骤 | 第22页 |
| 2.4 BST粉末的测试及表征方法 | 第22页 |
| 2.5 实验结果与讨论 | 第22-28页 |
| 2.5.1 BST粉末表征 | 第22-27页 |
| 2.5.2 反应机理探讨 | 第27-28页 |
| 2.5.3 粉末分散性能的调控 | 第28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 BST修饰TiO_2薄膜样品的制备 | 第29-37页 |
| 3.1 磁控溅射法制备TiO_2籽晶层 | 第29-32页 |
| 3.1.1 磁控溅射系统介绍 | 第29-30页 |
| 3.1.2 FTO衬底清洗 | 第30页 |
| 3.1.3 TiO_2籽晶层的溅射 | 第30页 |
| 3.1.4 TiO_2籽晶层的测试表征 | 第30-32页 |
| 3.2 水热法制备TiO_2薄膜 | 第32-34页 |
| 3.2.1 实验试剂及设备 | 第32页 |
| 3.2.2 制备过程 | 第32-33页 |
| 3.2.3 TiO_2薄膜的测试及表征 | 第33-34页 |
| 3.3 旋涂法制备BST修饰TiO_2薄膜样品 | 第34-36页 |
| 3.3.1 旋涂法简介 | 第34-35页 |
| 3.3.2 制备过程 | 第35页 |
| 3.3.3 测试及表征 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 BST修饰TiO_2薄膜样品气敏性能的研究 | 第37-51页 |
| 4.1 H2气敏传感器基本参数介绍 | 第37-39页 |
| 4.1.1 灵敏度 | 第37页 |
| 4.1.2 响应时间和恢复时间 | 第37-38页 |
| 4.1.3 最低探测浓度 | 第38页 |
| 4.1.4 工作温度 | 第38页 |
| 4.1.5 重复性 | 第38页 |
| 4.1.6 稳定性 | 第38-39页 |
| 4.2 气敏元件的组装和测试 | 第39-40页 |
| 4.2.1 电极的制作 | 第39-40页 |
| 4.2.2 气敏测试 | 第40页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第40-50页 |
| 4.3.1 水热法制备的（002）取向生长TiO_2薄膜氢气传感器气敏性能 | 第40-41页 |
| 4.3.2 BST纳米颗粒修饰TiO_2薄膜氢气传感器气敏性能 | 第41-45页 |
| 4.3.3 退火处理对BST纳米颗粒修饰TiO_2薄膜氢气传感器气敏性能的影响 | 第45-49页 |
| 4.3.4 BST修饰TiO_2薄膜氢气传感器大浓度氢气区间的气敏性能 | 第49页 |
| 4.3.5 BST纳米颗粒修饰TiO_2薄膜氢气传感器气敏性能提升机制 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 总结及展望 | 第51-53页 |
| 5.1 论文主要结论 | 第51-52页 |
| 5.2 未来展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 附录 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
