| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第6-17页 |
| 1.1 金刚石 | 第6-10页 |
| 1.1.1 金刚石结构与性能 | 第6-8页 |
| 1.1.2 CVD金刚石薄膜 | 第8-10页 |
| 1.2 硬质合金 | 第10-11页 |
| 1.3 热丝 | 第11-14页 |
| 1.3.1 热丝的选择 | 第11-12页 |
| 1.3.2 热丝和基体间距离对沉积的影响 | 第12-13页 |
| 1.3.3 热丝温度 | 第13页 |
| 1.3.4 热丝直径对基体温度分布的影响 | 第13-14页 |
| 1.4 CVD金刚石涂层刀具 | 第14-16页 |
| 1.5 本论文的研究意义与内容 | 第16-17页 |
| 2 实验 | 第17-30页 |
| 2.1 金刚石薄膜沉积原理 | 第17-19页 |
| 2.2 实验装置 | 第19-25页 |
| 2.2.1 电控系统 | 第20-21页 |
| 2.2.2 真空系统 | 第21-22页 |
| 2.2.3 气源系统 | 第22-23页 |
| 2.2.4 冷却系统 | 第23-24页 |
| 2.2.5 测温装置 | 第24页 |
| 2.2.6 样品安放台 | 第24-25页 |
| 2.2.7 Ta丝 | 第25页 |
| 2.3 金刚石薄膜制备参数 | 第25-28页 |
| 2.3.1 灯丝碳化 | 第25-26页 |
| 2.3.2 基体预处理 | 第26-27页 |
| 2.3.3 偏压形核 | 第27页 |
| 2.3.4 金刚石薄膜沉积条件 | 第27-28页 |
| 2.4 表征方法 | 第28-30页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| 2.4.2 拉曼光谱 | 第29-30页 |
| 3 实验结果与分析 | 第30-52页 |
| 3.1 硬质合金基体状态 | 第30-38页 |
| 3.1.1 成分分析 | 第30-36页 |
| 3.1.2 表面形貌 | 第36-38页 |
| 3.2 Ta丝稳定性 | 第38-40页 |
| 3.2.1 Ta丝抗拉强度的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.2 双层Ta丝排布的影响 | 第39-40页 |
| 3.3 偏流偏压曲线 | 第40-41页 |
| 3.4 硬质合金钻头上沉积的金刚石薄膜 | 第41-52页 |
| 3.4.1 预处理钻头表面的成分分析 | 第41-43页 |
| 3.4.2 金刚石薄膜形貌（双排12根钻头、沉积 1.5h） | 第43-45页 |
| 3.4.3 金刚石薄膜形貌（单排6根钻头、沉积 2h） | 第45-47页 |
| 3.4.4 金刚石薄膜形貌（单排6根钻头、沉积 10h） | 第47-52页 |
| 4 讨论 | 第52-54页 |
| 4.1 Ta丝稳定性的影响因素 | 第52页 |
| 4.2 基体温度的影响因素 | 第52页 |
| 4.3 金刚石形成条件 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
