TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| ·TaN薄膜材料及微波功率电阻器的简介 | 第12-14页 |
| ·国内外研究动态 | 第14-16页 |
| ·国外TaN薄膜材料及微波功率电阻器研究进展 | 第14-15页 |
| ·国内TaN薄膜材料及微波功率电阻器研究进展 | 第15-16页 |
| ·选题依据与研究内容 | 第16-18页 |
| ·选题依据 | 第16-17页 |
| ·研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 TaN薄膜制备及性能研究 | 第18-39页 |
| ·TaN薄膜的制备方法及分析测试简介 | 第18-20页 |
| ·TaN薄膜的制备方法简介 | 第18-20页 |
| ·TaN薄膜的性能测试 | 第20页 |
| ·氮流量对TaN薄膜的微结构和性能的影响 | 第20-25页 |
| ·TaN薄膜的表面形貌 | 第21页 |
| ·氮流量对TaN薄膜成分的影响 | 第21-22页 |
| ·氮流量对TaN薄膜厚度的影响 | 第22-23页 |
| ·氮流量对TaN薄膜相结构的影响 | 第23页 |
| ·氮流量对TaN薄膜方阻和电阻率的影响 | 第23-24页 |
| ·氮流量对TaN薄膜TCR的影响 | 第24-25页 |
| ·厚度对TaN薄膜结构和性能的影响 | 第25-29页 |
| ·厚度对TaN薄膜相结构的影响 | 第25-26页 |
| ·厚度对TaN薄膜方阻和TCR的影响 | 第26-29页 |
| ·掺Al对TaN薄膜微结构及电性能的影响 | 第29-33页 |
| ·掺Al的TaN薄膜的表面形貌 | 第29-30页 |
| ·Al/Ta面积比对TaN薄膜的相结构的影响 | 第30-31页 |
| ·Al/Ta面积比对TaN薄膜厚度的影响 | 第31页 |
| ·Al/Ta面积比对TaN薄膜电阻率的影响 | 第31-32页 |
| ·Al/Ta面积比对TaN薄膜TCR的影响 | 第32-33页 |
| ·TaN/Al多层薄膜的微结构及电性能 | 第33-37页 |
| ·TaN/Al多层薄膜的表面形貌 | 第34页 |
| ·氮流量对TaN/Al多层薄膜结构的影响 | 第34-35页 |
| ·氮流量对TaN/Al多层薄膜电阻率的影响 | 第35-36页 |
| ·氮流量对TaN/Al多层薄膜TCR的影响 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 TaN微波功率薄膜电阻器的设计与仿真 | 第39-59页 |
| ·微波功率薄膜电阻器模型的建立 | 第39-40页 |
| ·功率负载与薄膜电阻器微波性能的关系 | 第40-43页 |
| ·微波功率薄膜电阻器常用电极结构 | 第43-49页 |
| ·微波功率薄膜电阻器的设计与仿真 | 第49-58页 |
| ·微波功率薄膜电阻器的设计与仿真方法 | 第49-50页 |
| ·微波功率薄膜电阻器的设计与仿真结果 | 第50-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第四章 TaN微波功率薄膜电阻器的制备及性能测试 | 第59-65页 |
| ·TaN微波功率薄膜电阻器的制备 | 第59-61页 |
| ·TaN微波功率薄膜电阻器的性能测试 | 第61-64页 |
| ·TaN微波功率薄膜电阻器的功率和TCR测试 | 第61页 |
| ·TaN微波功率薄膜电阻器的频率测试 | 第61-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-68页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
