| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光刻机超精密工作台多自由度测量系统发展 | 第10-16页 |
| 1.2.1 多自由度测量系统国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 多自由度位移测量模型研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 目前存在的问题 | 第16页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 掩模台三自由度光栅干涉测量系统原理 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 掩模台位置测量系统技术指标分析 | 第18-19页 |
| 2.3 掩模台多自由度测量原理 | 第19-27页 |
| 2.3.1 光栅干涉仪测量原理 | 第19-24页 |
| 2.3.2 光栅干涉仪测量布局 | 第24-26页 |
| 2.3.3 电容传感器测量布局 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 掩模台三自由度光栅干涉测量模型建立 | 第28-50页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 测量系统坐标系的定义 | 第28-30页 |
| 3.3 光栅干涉仪读数与掩模台位置关系 | 第30-31页 |
| 3.4 不考虑安装误差的光栅干涉仪测量全局模型 | 第31-36页 |
| 3.4.1 Y向测量轴全局模型 | 第32-35页 |
| 3.4.2 X向测量轴全局模型 | 第35-36页 |
| 3.5 考虑安装误差的光栅干涉仪测量全局模型 | 第36-41页 |
| 3.5.1 Y向测量轴全局模型 | 第36-40页 |
| 3.5.2 X向测量轴全局模型 | 第40-41页 |
| 3.6 光栅干涉测量全局模型仿真分析 | 第41-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 测量模型线性化解算方法研究 | 第50-66页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 线性化测量模型数值解算方法 | 第50-51页 |
| 4.3 不考虑安装误差测量模型的线性模型及其系数推导 | 第51-57页 |
| 4.3.1 X向线性模型及其系数推导 | 第52-53页 |
| 4.3.2 Y向线性模型及其系数推导 | 第53-57页 |
| 4.4 考虑安装误差测量模型的线性模型及其系数推导 | 第57-62页 |
| 4.4.1 X向线性模型及其系数推导 | 第57-59页 |
| 4.4.2 Y向线性模型及其系数推导 | 第59-62页 |
| 4.5 线性化模型仿真分析 | 第62-65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 附录A | 第74页 |