| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 透明导电薄膜 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO基TCO | 第10-12页 |
| 1.3 TCO的陷光结构 | 第12-13页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第13-14页 |
| 2 样品的制备和测试方法 | 第14-20页 |
| 2.1 MOCVD制备BZO薄膜 | 第14-16页 |
| 2.2 实验样品的测试 | 第16-20页 |
| 3 BZO薄膜性能的研究 | 第20-39页 |
| 3.1 掺杂B含量对BZO薄膜的影响 | 第20-26页 |
| 3.2 衬底温度对BZO薄膜的影响 | 第26-30页 |
| 3.3 薄膜厚度对BZO特性的影响 | 第30-39页 |
| 4 BZO薄膜表面形貌的研究 | 第39-50页 |
| 4.1 双层BZO结构 | 第39-44页 |
| 4.2 Ar等离子处理对BZO | 第44-50页 |
| 5 总结 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第58页 |